Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
アドバンスドダイレクトインジェクションシステム VAPBOX Series
VAPBOX Seriesは、独自のパルスインジェクションによる気化・霧化技術と最適化された
ヒーティングチャンバにより、高信頼性と高い再現性を持った液体材料の気化システムです。
これにより、低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい液体材料等の気化が可能です。また、常温あるいは常圧におけるミスト発生・供給も可能です。
事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control System
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
Selection of countries and territories where this product is available:
日本
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- デュアルインジェクションバルブによる効率的な気化
２タイプのインジェクションバルブで、パルス制御を行い、キャリアガスとともにファインミストを発生させます。 - クーリングインジェクタ
プリカーサは、ヒートシンクとファンにより、ミキシングエリアにて常温に保たれ、予備加熱による熱分解を低減します。 - オープンループ制御・クローズループ制御が可能
例 オープンループ制御：ALD用途として、高い頻度でのバルブ直接開閉制御
クローズループ制御：連続発生用途として、液体流量制御 - 高温のヒーティングチャンバにより、低蒸気圧材料の気化に有効(Max300度 Vapbox 1500)
- ノンコンタクトベーパライゼーションでヒーティングチャンバでの詰まり低減・気化効率が向上
ヒーティングウォールにコンタクトしない気化は、低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい材料などの気化に有効です。 - イージーメンテナンス
配管接続
VAPBOXは、流路に対して、垂直方向に設置してください。
固体材料は、十分に溶媒に溶解させてください。
仕様選定チェックシート
お客様のご要望にマッチした最適なソリューションをご提案させていただくために、おわかりになる範囲で結構ですので、以下の項目を事前にご確認ください。
材料情報
- 材料名
- CAS ナンバー
- 化学式
- 分子量［g/mole］
- 材料供給メーカ
- 比重
- 粘性
- 水分との反応性
- O2との反応性
- 熱分解温度［℃］
- 溶媒名
- 溶媒中の材料濃度［mole/liter］
- 蒸気圧曲線
気化コンディション
- プロセスチャンバ圧力
- ヒーティングチャンバ加熱温度［℃］
- 最少液体材料発生量［g/min］
- 最大液体材料発生量［g/min］
- キャリアガス名［N2、Ar、He、…］
- 最少液体材料発生量における最少キャリアガス流量
プロセス情報
- プロセス名［ALD、CVD、MOCVD、PECVD、APCVD、etc…］
- バッジ／枚葉処理
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