CRITERION D500

Pressure Insensitive Mass Flow Module D500

マスフローモジュール

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能マスフローモジュール。PI機能、マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能、自己診断機能を備え、±1% S.P. の高精度と応答速度0.8秒を実現しています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • PI機能 (Pressure Insensitive)
    急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
  • マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
    ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
  • 自己診断機能 G-Life (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
    短時間:3秒以下(typical)で自己診断が行え、スループットの向上に貢献します。
  • 高精度
    ±1% S.P.を実現
  • 高速応答
    応答速度:0.8秒以内
  • ワイドレンジ制御
    10 SCCM~50 SLMとワイドな制御範囲
  • 豊富な通信方式
    デジタル/アナログ通信モデル、DeviceNet™通信モデル、EtherCAT®通信モデルをラインナップ
     

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CRITERION D500 仕様一覧

 

外形寸法図(単位:mm)

CRITERION D500 外形寸法図

 

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