CRITERION DZ-100 Series

DZ-100 Ultra Thin Mass Flow Controller

超薄型マスフローモジュール

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 高速応答
    応答速度:0.4秒以内
  • 軽量化・コンパクト
    幅10mm、高さ99mm
  • 高精度
    ±0.5% S.P.を実現
  • 集積化対応
  • 通信方式
    DeviceNet™通信モデル
  • 一次側供給圧力範囲の拡大
    110~900kPa
  • PI機能 (Pressure Insensitive)
    急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新の
    アルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが
    可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
  • マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
    ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
    の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
  • 自己診断機能 G-Life
    (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)

 

「CRITERION 性能について」 はこちら

 

DZ-100 仕様一覧

外形寸法図(単位:mm)

DZ-100 外形寸法図

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