GR-511F

ウェハ裏面圧力制御システム

GR-511Fは、ウェハ裏面の温度制御に不可欠なヘリウムガスやアルゴンガスなどの伝熱性ガスの圧力制御を安定性良く、高精度に行います。高速・高分解ピエゾバルブとマスフローセンサを搭載しており、正確・安定的に微小な圧力制御を行うのみならず、流量計測も可能です。