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A Residual Gas Analyzer for Dry Etching Process
Micropole System
四重極形質量分析計
真空チャンバの残留ガス分析に。
残留ガス分析計 Micropole Systemは、半導体や液晶パネル、太陽電池などの成膜プロセスにおいて、チャンバの全圧及び残留しているガスの分圧を計測できる質量分析計です。質量検出部には9つの四重極部で構成し、「世界最小クラスのサイズ」「軽量化」「高圧化・低真空」を実現しています。
小規模真空チャンバや機能性フィルムの薄膜形成工程でのガス分析、ガスプロセス管理に最適です。
低真空(高圧)域0.9Pa(6.7mTorr)での操作可能、追加の設備が不要
他社比20分の1の大きさ、センサ部わずか5cmのサイズ
ユーザーによるセンサ交換可能で休止期間なし
- PC用ソフトで各種グラフ生成、わかりやすい結果表示
- 9つの四重極部独自構造で省スペースを実現
- 汎用性の高い直径34mmのフランジを採用
■ユーザーメリット
分析による品質管理と稼働率の向上がコストダウンと生産拡大につながります。
QL-SG02は対象設備の直径34mmのフランジに取り付けられ、突起する長さも21～31mmと極小です。炉内圧力の管理や残留ガスの分析を行うことは、生産量の拡大と同時にコストダウンにも貢献します。
