MU-2200

Mixed Gas Generators MU Series (MU-2200)

2成分ガス混合装置

混合ガス発生器:MU Seriesは、高性能マスフローコントローラを搭載し、2種類以上のガスを均一に混合し発生します。操作部にはタッチパネルを用いて、発生する混合ガス濃度や発生流量の入力により、任意濃度の混合ガスを発生します。
バーナー用燃焼ガス発生をはじめとする産業用やバイオ、食品関連市場でのラボ用混合ガス発生器としてご使用いただいています。反応性ガス等のガス混合には、パージ機能を搭載したモデルなど、お客様のご用途にあったガス混合器を製作いたします。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control System
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

 

  1. 簡単操作で任意の混合ガスを発生します。
    ・"流量比混合法"により、正確な濃度の混合ガスを発生できます。
    ・タッチパネルより"発生ガス濃度" "発生ガス流量"を入力頂ければ
     混合ガスの発生が行えます。
    ・専用の混合ブロックを内蔵し、2成分以上のガスを均一混合します。
     
  2. 幅広い種類の混合ガスを発生します。
    搭載するマスフローコントローラをご利用目的に応じて選定可能です。腐食性ガスや大流量の混合ガス発生等、お客様のご用途に応じたモデルを製作致します。
    【汎用モデル】  ラバーシールタイプのマスフローコントローラを搭載
    【腐食性ガス対応】メタルシールタイプのマスフローコントローラを搭載
    【高精度タイプ】 デジタル制御のマスフローコントローラを搭載 等
     
  3. ご用途に応じた混合ガス発生器を製作致します。
    3成分以上の混合ガスの発生や19インチラック組込モデルなど、多様なご要望に応じた、混合ガス発生器を製作致します。

 

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