SEC-8000F/D/E Series

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D/E Series
High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D Series 8000CB

高温対応デジタルマスフローコントローラ

高温環境(120℃)までの環境で使用できる高温対応デジタルマスフローコントローラです。加温環境での流量制御を必要とする液化ガスや液体材料の流量制御に最適。パージ時には、150℃のベーキングが行えます。また、100L/分(N2)の大流量制御に対応したモデルもラインアップしています。
±1.0 S.P.の高精度、1秒以内の高速応答を実現しています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

 

  • 15℃から120℃までの高温環境対応

  • 高精度:±1.0%S.P.(セットポイント)保証

  • 高速応答:1秒以内(T98) 

  • ウルトラクリーン対応

 

 

 

SEC-8000F/D/E Series 仕様一覧
 

外形寸法図・他(単位:mm)

 

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Gas Mass Flow Control and Measurement for Reference Value of PM2.5 Measurement
Gas Mass Flow Control and Measurement for Reference Value of PM2.5 Measurement
Optical Fiber Manufacturing Process in Electrical Equipment
Optical Fiber Manufacturing Process in Electrical Equipment
Test Gas Generation in Research and Testing Laboratories
Test Gas Generation in Research and Testing Laboratories

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