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マスフローコントローラ

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豊富なラインアップで課題を解決します。

さまざまな用途のガス種や流量に合わせた製品で課題解決をご提案します。


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マスフローモジュール

最先端プロセスを支えるマスフローモジュール

 

フロースプリッタ

基盤の大型化や緻密な供給制御に対応を可能とするガス分配ユニット

マスフローコントローラ

ご使用ニーズに合ったモデルをラインアップ

デジタルマスフローコントローラ


アナログマスフローコントローラ

エコノミー
マスフローコントローラ

ベーシックかつコンパクトモデルで幅広い産業に対応

 

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ご使用の条件に応じたアクセサリをご用意しています。