マスフローコントローラ/メータ

製品名	生産終了型式	代替推奨製品型式	保守サービス期間
デジタル質量流量計	【フローラインSeries】・SEF-21A/22A ・SEF-51/52 ・SEF-1(N/R)/2(N/R) ・SEF-11/12 ・SEF-13S ・SEF-14S	型式詳細はこちら	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-E400J Series	SEC-N100 Series	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-4000 Series SEC/SEF-7300 Series（注1） SEC/SEF-7400 Series SEC/SEF-V100 Series SEC/SEF-Z500 Series（注2）	SEC-Z500X Series SEF-Z500X Series	終了
マスフローコントローラ	SEC-Z10D Series SEC-F1/F400/F700 Series	SEC-Z500X Series	終了
マスフローメータ	SEF-4100 Series	SEF-Z500X Series	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-3000 Series	SEC-8000F/D/E Series SEF-8000F/D/E Series	終了
マスフローコントローラ	SEC-420/520	SEC Series/SEF Series 別途お問合せ下さい	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-1000 Series	別途お問合せ下さい	終了
マスフローコントローラ	SEC-6440/6450	SEC-E Series	終了
マスフローコントローラ	SEC-5400	-	終了
マスフローコントローラ	SEC-KS	別途お問合せ下さい	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-E60 SEC/SEF-E70 SEC/SEF-E80	SEC-N100 Series SEF-N100 Series	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-6470R SEC/SEF-6480R	SEC-N100 Series SEF-N100 Series	終了
液体用アナログマスフローコントローラ /メータ	LV/LF-200(A) Series LV/LF-300(A) Series LV/LF-400(A) Series LV/LF-500(A) Series LV/LF-600(A) Series	LV/LF-F Series	終了
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-8000S Series	SEC-8000F/D/E Series SEF-8000F/D/E Series	終了
マスフローモジュール	D212/D212W/D222 D213/D213W D214/D214W/D224	D500 Series	終了
フロースプリッタ	FS-111/121/222/242	FS-3000 Series	終了
マスフローコントローラ	SEC-2410 SEC-2510 SEC-2551	SEC-8000F/D/E Series	終了
高湿用マスフローモジュール	D852	別途お問合せ下さい	終了
マスフローメータ	SEF-7140M SEF-7140R	SEF-Z500X Series SEF-N100 Series SEF-E40 Series MF-F Series	2024年6月末日
マスフローコントローラ	SEC-Z532X SEC-Z534X SEC-Z544X	SEC-Z532MGX SEC-Z534MGX SEC-Z544MGX	2024年12月31日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-320 SEC/SEF-520A SEC/SEF-552 SEC/SEF-620	SEC Series/SEF Series 別途お問合せ下さい	2025年8月31日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-B40 SEC/SEF-B50	SEC-E Series SEF-E Series S48(M)-BR/BM/CR	2026年3月31日
マスフローコントローラ/メータ	S48-32-HMT	S48(M)-BR/BM	2026年6月30日
マスフローコントローラ/メータ	S48-28-HMT	S48(M)-CR	2026年6月30日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-310	SEC-Z500X Series SEF-Z500X Series	2026年12月31日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-Z500KVX	SEC-Z500MGX Series SEF-Z500MGX Series	2027年6月30日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-6470M SEC/SEF-6480M	SEC-Z500MGX Series SEF-Z500MGX Series SEC-N170R SEF-N170R	2027年6月30日
小型流量センサ	MF-F Series (Air/N2/O2仕様)	MF-F2 Series (MF-F Series Ar/CO2仕様については別途お問合せください)	2027年11月30日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-Z4400 Series	別途お問合せ下さい	2027年12月31日
マスフローコントローラ/メータ	SEC/SEF-405 SEC/SEF-410 SEC/SEF-510 SEC/SEF-510A SEC/SEF-551 SEC/SEF-610 SEC/SEF-623 SEC-400MK2/MK3 SEC-500MK2/MK3	SEC Series/SEF Series 別途お問合せ下さい	2028年12月31日

（注1）　SEC-7340LDは販売を継続しております。
（注2）　SEC/SEF-Z500 SeriesはRoHS指令未対応製品のために生産を中止致しました。後継製品としてRoHS指令対応の製品：SEC-Z500X Seriesを販売しております。