CS-900

CS-900

非接触型薬液濃度モニター

洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液を非接触で測定する薬液濃度モニターです。

配管内を流れる薬液に触れることなく測定することで、薬液漏れやコンタミネーション(混入)がなく安全で安定した濃度監視が可能です。

 

薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-485高温測定非接触複数成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

非接触測定構造

薬液漏れやコンタミネーションを防ぐことで、安全で安定的な測定が可能です。また配管部を切断せずに設置できるため、導入時の据付けを行う作業時間の短縮と作業負担を軽減します。

高温薬液の安定した測定

光学系の一新、及び演算処理の改良により、最先端の薬液処理に必要不可欠な高温薬液(20~80℃)も安定して測定が可能です。

光源の長寿命化

LEDランプ採用により長寿命化を実現しています(5年保証)。

省スペース化

光源・分光器をセルユニットに一体化しています。表示部はパネルマウントタイプを採用しました。

製品名非接触型薬液濃度モニタ CS-900
型式CS-900
測定原理吸収分光法
濃度算出手法温度補償型多変量解析法
測定範囲・
再現性制度
(単位 mass%)
型式名成分名測定範囲再現性精度アナログ出力範囲
CS-900-1P-1P25P5NH30.00%-1.20%±0.05%0.00-10.00
H2O20.00%-5.50%±0.10%0.00-10.00
H2O93.3%-100.0% ±1.0%     -
CS-900-1P-P8P8NH30.20%-0.80%±0.03%0.00-1.00
H2O20.20%-0.80%±0.03%0.00-1.00
H2O98.4%-99.6%±0.3%     -
測定条件1) 測定周期:約3秒
2) 移動平均:16回
配管※1PFA配管1インチもしくは3/4インチ
試料液条件※2薬液温度:20~80℃
薬液温度変化、周囲温度変化±1℃以内(1時間)
入力圧力:0.2MPa(G)以下
圧力変化:0.02MPa以下
電源DC24V
消費電力※3約30W
質量表示器:約0.9Kg
センサーユニット:約2.9Kg
外形寸法(W×D×H)表示器:96×135×96 mm
センサーユニット※4:238×140×146 mm
センサーユニット設置角度前後方向:±3度以内、左右方向:0~90度
光源寿命5年
通信取り合いパラレルI/O、RS-232C、アナログ出力

※1静電防止タイプは不可。
※2試料液が流れていない状態では気泡影響で正しく測定できない場合があります。
※3起動時の過渡的電流は除く。
※4突起部除く。

 

 

 

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