HZ-960

Dissolved Ozone Monitor HZ-960,H2O2 Monitor HZ-960HPO-M

溶存オゾンモニタ

オゾン水の管理

溶存オゾンモニタ HZ-960は、半導体デバイス、液晶・ガラスのウエット処理プロセスで使用されるオゾン水の溶存オゾン濃度を連続モニタリングします。

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • 豊富な測定レンジ
  • 選べる取り合い配管サイズ
    標準3/4インチに加え、1/2インチ、1インチを取りそろえています。
  • リモート校正機能
    インラインでの使用向けに、外部入力によるリモート校正機能を備えています。 自己診断機能によりエラー状態を監視することが可能です。
  • 高い再現性精度・安定性精度
    FS ±0.2 %以内の再現性精度を実現

 

 

 

製品名溶存オゾン濃度モニタ(変換器)
型式HZ-960
対応検出器ZH-10、ZH-40、ZH-100、ZH-500
測定対象純水中のオゾン濃度
電源DC 24 V ±10% 15 W
構造パネル取り付け屋内設置型
パネルケース:ABS、端子部:PBT
パネル部:防滴構造
保護構造パネル部:IP65(IEC60529、JISC0920)リヤケース:IP20、端子部:IP00
適合規格CEマーキングEMC指令:EN61326-1
FCC規則FCCPart15
外形寸法96(W)×96(H)×115(D) mm、ケース奥行:約105 mm(パネルマウント時)
※検出器:ZH-XXXシリーズの外形寸法は、型式によりますので別途お打合せください
質量約550 g
※検出器:ZH-XXXシリーズ 約2kg

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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