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溶存オゾンモニタ HZ-960
HZ-960
溶存オゾンモニタ
オゾン水の管理
溶存オゾンモニタ HZ-960は、半導体デバイス、液晶・ガラスのウエット処理プロセスで使用されるオゾン水の溶存オゾン濃度を連続モニタリングします。
- 豊富な測定レンジ
- 選べる取り合い配管サイズ
標準3/4インチに加え、1/2インチ、1インチを取りそろえています。 - リモート校正機能
インラインでの使用向けに、外部入力によるリモート校正機能を備えています。 自己診断機能によりエラー状態を監視することが可能です。 - 高い再現性精度・安定性精度
FS ±0.2 ％以内の再現性精度を実現
| 製品名 | 溶存オゾン濃度モニタ（変換器） | |||
|---|---|---|---|---|
| 型式 | HZ-960 | |||
| 対応検出器 | ZH-10、ZH-40、ZH-100、ZH-500 | |||
| 測定対象 | 純水中のオゾン濃度 | |||
| 電源 | DC 24 V ±10％ 15 W | |||
| 構造 | パネル取り付け屋内設置型 パネルケース：ABS、端子部：PBT パネル部：防滴構造 | |||
| 保護構造 | パネル部：IP65（IEC60529、JISC0920）リヤケース：IP20、端子部：IP00 | |||
| 適合規格 | CEマーキング | EMC指令：EN61326-1 | ||
| FCC規則 | FCCPart15 | |||
| 外形寸法 | 96（W）×96（H）×115（D） mm、ケース奥行：約105 mm（パネルマウント時） ※検出器：ZH-XXXシリーズの外形寸法は、型式によりますので別途お打合せください | |||
| 質量 | 約550 g ※検出器：ZH-XXXシリーズ 約2kg | |||
外形寸法図・他（単位：mm）
