HZ-960HPO-M

Dissolved Ozone Monitor HZ-960,H2O2 Monitor HZ-960HPO-M

過酸化水素モニター

半導体や太陽電池の洗浄プロセスにおけるパーティクル除去や不純物金属イオン除去に使用される過酸化水素水用の濃度モニターです。

低濃度薬液処理に対応するため、最小1ppmの分解能で、過酸化水素水濃度の高精度測定が可能です。

 

H2O2

DC24V伝送出力接点出力低濃度

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

豊富な測定レンジ

過酸化水素:0-1mass%の標準測定レンジに加え、3種類の測定レンジをラインアップ。最適なレンジの提案を行います。

選べる取り合い配管サイズ

標準3/4インチに加え、1/2インチ、1インチから選択可能です。

高い再現性精度・安定性精度

FS+/-0.2%以内の再現性精度

 

製品名過酸化水素濃度モニタ(変換器)
形式HZ-960HPO-M
対応検出器ZH-10HPOZH-40HPOZH-100HPOZH-500HPO
測定対象純水中の過酸化水素濃度
電源DC 24 V ±10% 15 W
構造パネル取り付け屋内設置型
パネルケース:ABS、端子部:PBT
パネル部:防滴構造
保護構造パネル部:IP65(IEC60529,JIS C0920)
リヤケース:IP20、端子部:IP00
適合規格CEマーキング
FCC規則
外形寸法96(W)×96(H)×115(D) mm
ケース奥行:約105 mm(パネルマウント時)
※検出器:ZH-XXXHPOシリーズの外形寸法は、型式によりますので別途お打合せください
質量約550 g
※検出器:ZH-XXXHPOシリーズ 約2kg

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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