UP-100シリーズ

Micro Volume pH Monitor - UP-100

微量サンプリングpHモニタ

 

創業来のpH計測技術を発展させ、新たに超小型キャピラリーpH電極を開発致しました。UP-100は1測定あたり  500μL(Lの100万分の1)という極めて微量なサンプリング量で測定が可能で、半導体洗浄/エッチング工程、食品製造工程、製薬工程、バイオプロセスなど、pHの連続監視が必要なあらゆるプロセスにご活用いただけます。
加えて、6か月間保守作業が不要な設計によりプロセスのダウンタイム削減に寄与します。

※連続測定の場合6か月間不要。耐薬品性能は試料に因る。

 

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • 微量サンプリング
    500μL/測定
    最大30mL/1時間の消費量
  • リアルタイム測定
    最短測定間隔:1分
  • メンテナンス周期大幅低減
    半年に一度のメンテナンス
    自動校正、自動KCl補充

※使用条件によります

 

測定原理

応用例:低濃度アンモニア溶液の測定

連続測定により、CO2の溶け込み影響によるpH変化をリアルタイムに検出

アンモニア濃度とpHは良好な相関関係
⇒0 – 10 ppm レンジで3 ppmの分解能

 

UP-100仕様書


外形寸法図・他(単位:mm)

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