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〈カタログ〉半導体製造プロセス用 低濃度HF中溶存酸素計 HD-960L
| 型式 | HD-960L | |
|---|---|---|
| 測定レンジ 繰り返し性 | 測定レンジ | 繰り返し性 |
| 0.0 - 200.0 μg/L | +/-1% FS | |
| 200 - 2000μg/L | +/-1% FS | |
| 2.00 - 20.00mg/L | +/-1% FS | |
| 供給サンプル水条件 | 圧力 | 0 - 0.1MPa |
| 流量 | 15 - 200ml /min. * | |
| 温度（温度補償範囲） | 10 - 45 °C | |
| サンプル中HF濃度 | 0 - 5000ppm | |
| 伝送出力 | 4-20mA, 4点 | |
| 接点出力 | 4点 | |
| 電源仕様 | DC24V +/- 10% 15W | |
| 組合センサユニット | DO-100 | |
| 組合センサ | #5600 | |
| サンプルライン配管径 | Φ1/4 インチ （PFA チューブ出し） | |
＊測定後のサンプル液はドレインラインへ接続し廃液のこと
外形寸法図・他（単位：mm）
