HF-960H

HF / HCl Concentration Monitor HF-960H

フッ酸濃度モニタ

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適な、低濃度から高濃度までのフッ酸・塩酸を高精度に測定するHF/HCl濃度モニタ

高濃度域のフッ酸・塩酸などの測定に最適
HF-960Hは、半導体製造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材質を使用していますので、高濃度域のフッ酸・塩酸管理として最適な構造です。
耐薬品性に優れたセンサ採用
 

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • ワイドレンジ対応
  • 表示レンジ自動切替
  • HF濃度・HCl濃度・導電率・温度の4種類の測定が可能
  • DC24V電源
  • RoHS対応品

 

 

 

形式HF-960H
周囲使用温湿度温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)
電源DC24V ±10%  10W(max)
保護構造パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)
質量約550g
適合規格CEマーキング、FCC Part15
適合センサFES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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