HE-960HC

Carbon Sensor Conductivity Meter HE-960HC(High concentration type),HE-960LC

カーボンセンサ導電率計 高濃度タイプ

半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適
薬液管理や排水管理のパラメータの基本となる導電率計。HE- 960HCは、ワイドレンジを切替せずに測定することが可能です。
また、2種類の濃度換算機能を備えていますので、特定薬品の濃度変化をモニタでき、プロセス濃度計としても使用できます。

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • ワイドレンジ対応
  • 表示レンジ自動切替
  • 多様な温度補償に対応
  • 濃度換算機能を搭載
  • 耐薬品性カーボンセンサ採用

 

 

 

形式HE-960HC
センサ入力1チャンネル
温度センサ仕様測温抵抗体 1000 Ω/0℃
周囲使用温湿度温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)
電源AC100~240V ±10% 50/60Hz 20VA(max)
保護構造パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)
質量約550g
適合規格CEマーキング、FCC Part15
組合せセンサFES-510シリーズ(流通型4極カーボン導電率センサ)

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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