HE-960HC

Carbon Sensor Conductivity Meter HE-960HC(High concentration type),HE-960LC

カーボンセンサー導電率計 高濃度タイプ

半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適な高濃度向け導電率計です。

耐薬品性のある4極式カーボンセンサーを採用しています。ワイドレンジを切替せずに測定可能かつ、濃度換算機能を備えていますので、半導体洗浄プロセスなどに使用される数多くの薬液類の導電率測定が可能です。

 

COND

DC24V伝送出力接点出力RS-485単成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

ワイドレンジ対応

最大1000mS/cまで測定可能です。(温度補償する前の導電率の測定範囲)

表示レンジ自動切替

高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。

耐薬性に優れたセンサー

センサーには耐薬品性の4極式カーボンセンサーを採用しているので、半導体洗浄プロセスに使用される数多くの薬液種に対応可能です。

 

形式HE-960HC
センサ入力1チャンネル
温度センサ仕様測温抵抗体 1000 Ω/0℃
周囲使用温湿度温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)
電源AC100~240V ±10% 50/60Hz 20VA(max)
保護構造パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)
質量約550g
適合規格CEマーキング、FCC Part15
組合せセンサFES-510シリーズ(流通型4極カーボン導電率センサ)

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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