HE-480C-GC

Carbon Sensor Conductivity Meter (Low concentration type) HE-480C-GC

カーボンセンサ導電率計 低濃度タイプ

半導体製造工程のウェットプロセスに使用される薬液は、デバイスの進化に伴い、その種類はますます増加する傾向にあります。HE-480C-GCは耐薬液性の高いセンサを使用することで薬液の導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また超純水のリサイクル監視などにも最適です。

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • 耐薬液性・圧力性能に優れています
    高耐圧・高耐薬液の特殊電極を採用することにより、薬液処理後のDIW Rinceの導電率値測定や循環ラインでの測定に最適です。
  • 金属コンタミフリー
    極材に採用しているのは特殊カーボンですので、金属コンタミの溶出の心配がありません。
  • 温度測定・表示機能
    温度補償素子Pt1000Ω採用。温度測定・表示が可能です。
  • 測定値とパラメータ設定値を同時表示
    設定や設定値の呼出し時も測定値の確認ができます。
  • 豊富な温度補償機能を内蔵
    超純水の温度特性(基準温度25℃)、NaCl温度特性、基準温度と温度補償係数の任意設定から選択できるので、測定液に応じた温度補償が行えます。
  • アイコンによる状態表示の充実、セキュリティ機能
    計器の状態をアイコンにて表示。わかりやすい表示で操作ミスを防止します。また暗証番号の設定で、すべてキー操作をロックし、誤動作による測定ミスを未然に防止します。
  • RoHS指令対応

 

 

 

指示変換器

形式HE-480C-GC
測定方式2電極方式
センサ入力1チャンネル
温度センサ仕様白金抵抗体1000Ω/0℃
繰り返し性

※1 ±0.5%フルスケール以内
※2 ±1.0%フルスケール以内
※3 ±1.5%フルスケール以内
(等価入力にて)

直 線 性※1 ±0.5%フルスケール以内
※2 ±1.0%フルスケール以内
※3 ±1.5%フルスケール以内
(等価入力にて)
 
伝送出力出力点数:1点
DC4~20mA  入出力絶縁形  最大負荷抵抗:900Ω
伝送出力レンジ: 測定範囲内で任意設定可
接点出力出力点数:2点
警報接点出力(R1、R2)
 接点形態:リレー接点 SPDT(1c)
 接点容量:AC240V 3A、DC 30V 3A(抵抗負荷)
 接点機能:上、下限動作(ON/OFF制御)、USP判定、異常警報、
 保守中より選択設定
校正機能導電率:セル定数の補正係数入力による(パラメータ入力)
温 度:基準温度計との比較校正
T D S:任意係数(0.30~1.00)による換算
ホールド機能直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定
(ただし、メンテナンスモードでは直前値ホールドになります)
自己診断機能 
  • センサ診断(温度センサ短絡、温度センサ断線)
  • 測定範囲外
  • A/Dコンバータスケールオーバー
  • 変換器異常
 
温度補償 
  • 超純水の温度特性(基準温度25℃)
  • NaClの温度特性
  • 基準温度と温度係数任意設定(基準温度:5~95℃ 温度係数:±5%/℃)
 
温度補償範囲0~100℃
周囲使用温湿度温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)
電源AC100~240V ±10%  50/60Hz  10VA(max)
保護構造パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部:IP00(パネル取付屋内設置型)
質量約400g
適合規格CEマーキング、FCC Part15
組合せセンサESHシリーズ導電率GCセンサ

 

センサ

形式ESH-01-L-GC5-Y-10MESH-1-L-GC9-Y-10M
セル定数(約0.1/cm)(約1/cm)
接液材質極部GC(ガラスカーボン)
ボディ部PFA
パッキンカルレッツ®
試料水条件温度:0~80℃、 圧力:0~0.5MPa
ケーブル長10m、Y端子(標準)※4
取付ねじ込み口径:R(PT)3/4
組合せホルダ流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5

※4ケーブル長、端末処理形状については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P(PVDF)またはEFA-30F(PFA)をご使用ください。

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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