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MB
〈カタログ〉高感度シリカモニタ SLIA-300
| 形式 | SLIA-300 | |
|---|---|---|
| 電源 | 100〜240V AC 50/60Hz | |
| 設置条件 | 屋内 周囲温度10〜35℃ 湿度85%以下 | |
| 外形寸法 | 580(W)×375(H)×500(D)mm | |
| 質量 | 1点計:約41kg(以降、測定点数1点追加に対して1kg増) | |
※本仕様書に記載の内容は、改良のために予告なく変更することがあります。
SLIA-300
半導体/FPDプロセス向超純水管理用高感度シリカモニタ
超純水のシリカ分析で実績多数！
コンパクト＆高感度な新性能。
半導体／FPDプロセスにおいて製品精度や歩留まりに大きな影響を与える、超純水中のシリカ濃度。その1μg／L(１ppb)オーダーの測定要求に確実にお応えします。デスクトップ型のコンパクトボディで、測定範囲全域における高感度測定を実現しました。高速応答性や自己診断機能など、充実の基本性能と高感度な新性能で、半導体／FPD製造の純水プロセスを力強くサポートします。
高感度で､しかも高い繰り返し性
独自の新開発セルにより、低濃度に対応する高感度化を実現。
高速5分測定で、0～2μg／Lレンジにおいて、フルスケール±2％の繰り返し性を保証しています。
デスクトップ型のコンパクト設計
新開発セルにより画期的なコンパクト設計を実現。デスクトップ型なので小さなスペースをはじめ様々な設置条件に対応可能。移動式としての使用も可能になりました。
試薬の消費量を1／5に削減
改良型反応セルの採用により、試薬の消費量を従来の1／5に低減。試薬のランニングコストを大幅に削減できます。
最大6点までの測定が可能 (オプション)
測定ポイントは1～6点まで任意に設定できます。一台でより多くの多点計測をサポートします。
動作異常を監視する自己診断機能
試料水や試薬の注入、校正異常、セル内温度モニタ、光源異常など動作の異常を自己診断。エラーがあれば警報ランプ表示とともに文字表示でもメッセージを送ります。
交換不要の半永久的光源を採用
光量が安定し寿命の長い単色性の半導体光源を採用。
半永久的な光源として使用できます。