HF-700A

微量フッ酸濃度モニター

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理用の微量フッ酸濃度モニターです。

エッチングプロセス後のポリマー残渣物の除去に効果的な役割を果たす硫酸・過酸化水素・微量フッ酸中のフッ酸濃度管理をppmオーダーにて安定して連続測定できるため、効果的なプロセス管理を行うことができます。

 

薬液濃度

自動校正交流フリー電源(100~240V)伝送出力接点出力RS-232C

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

安定した連続測定を実現

自動中和機能により連続的に試料水を中和し、さらに独創技術で開発したフッ化物イオン電極を用いることで、硫酸・過酸化水素中の微量フッ酸濃度の連続測定を実現しました。

用途に応じて選べる測定モード

応答速度を優先した通常モード(NORMAL MODE)と試薬の消費量を節約する試薬節約モード(ECO MODE)を選択できます。また、リアルタイムに濃度を測定する連続測定のほか、間欠測定も選択して運転可能です。

自動校正機能搭載

モニター前面のタッチパネルや外部入力信号により、自動校正が可能です。

薬品交換頻度の低減

中和液の2タンク自動切換え機能搭載により、薬品交換サイクルを低減しています。

外形寸法図・他(単位:mm)

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