HE-960TM

TMAH Conductivity Meter HE-960TM

TMAH用導電率計

現像液TMAHの濃度管理に最適
TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)溶液の導電率を高精度に測定します。
専用センサのFES-120Niは、ワイドなレンジ幅を備え、さらに耐薬性の高い構造ですので、TMAH測定に最適です。

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • ワイドレンジ
  • インライン測定
  • 自動温度補償
    鉛フリーはんだを採用

 

 

 

型名HE-960TM
測定方式電極式
電源定格電圧100〜 240VAC 50/60Hz 10VA(max)
保護構造パネル部:IP65(IEC60529,JIS C0920)
適合規格CEマーキング、FCC規則
外形寸法96(W)×96(H)×115(D)
ケース奥行:約105mm(パネルマウント時)
質量約500g

 

 

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