CS-100F1シリーズ

光ファイバ式薬液濃度モニター

洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液のインライン・リアルタイム測定を実現した光ファイバ式薬液濃度モニターです。

インライン・リアルタイム測定が可能です。1台の濃度モニターで同時に最大4種(薬液またはレンジ)の測定を可能とし、ワンバス・枚葉方式洗浄装置での測定に適しています。

 

薬液濃度

交流フリー電源(100~240V)伝送出力接点出力RS-232C

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

マルチモニタリング

1台の濃度モニターで最大4種(薬液またはレンジ)まで測定が可能です。

短い測定周期と高速応答性

約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート。マルチバスはもちろん、ワンバス・枚葉方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。

2タイプから選択可能

リアルタイムの濃度追従を重視した、メイン配管に直接組み込むインラインセルタイプか、安定性を重視し、モニター出力を用いたフィードバック制御も可能なセルユニットタイプから選択可能です。

 

型式CS-151F1CS-152F1CS-150F1
測定対象SC-1
(アンモニア/過酸化水素水溶液)
SC-2
(塩酸/過酸化水素水溶液)
SPM
(硫酸/過酸化水素水溶液)
1台で最大4種(薬液またはレンジ)までのマルチモニタリングが可能です。
測定原理吸収分光法
濃度算出原理温度補償型多変量解析法
測定範囲
(質量%)
NH3
0.00%〜1.00%
H2O2
0.00%〜5.00%
H2O:
94.0%〜100.0%
HCl:
0.00%〜2.00%
H2O2
0.00%〜2.00%
H2O:
96.0%〜100.0%
H2SO4
70.0%〜96.0%
H2O2
0.00%〜10.00%
H2O:
4.0%〜30.0%
再現性精度
(室温変化±1℃以内)
(質量%)
NH3:±0.15%
H2O2:±0.30%
H2O:±1.5%
HCI:±0.15%
H2O2:±0.15 %
H2O:±1.5%
H2SO4:±0.50%
H2O2:±0.50%
H2O:±1.5%
試料液温度20〜80℃(インラインセル使用時)
20〜30℃(セルユニット使用時)
測定周期約3秒
液晶ディスプレイ部
表示および入力内容
・第1成分 濃度測定値(%)
・第2成分 濃度測定値(%)
・第3成分 濃度測定値(%)
・第1、2成分 濃度警報状態
・エラーコード
・パラレル濃度警報出力無効状態
・シリアル/パラレル状態
・バックグラウンド補正情報
シリアル入力
RS-232C
・シリアル/パラレル状態切替
・測定データ転送要求
・第1、2成分濃度警報値設定
・パラレル濃度警報出力状態(有効/無効)
・測定対象薬液切替
パラレル入力フォトカプラ絶縁による電圧入力(DC12〜30V)
・パラレル濃度警報出力
・測定対象薬液切替
・バックグラウンド補正
パラレル出力フォトカプラ絶縁によるオープンコレクタ出力
ON時最大電流:DC5mA(内部保護抵抗なし)
OFF時最大引火電圧:DC30V
・第1成分濃度警報4種
・第2成分濃度警報4種
・装置異常
・測定中
・測定対象薬液種
・バックグラウンド補正状態
薬液温度入力端子台取合い(端子ネジM3)
・白金測温抵抗体:Pt100(Ptセンサは顧客にてご用意ください。)
アナログ出力・第1成分濃度警報4種:4〜20mA
・第2成分濃度警報4種:4〜20mA
※測定レンジ仕様以外にも対応いたします。発注時にご指定ください。
光ファイバCS-100F1シリーズ専用光ファイバ(設置温度25±15℃)
サンプルセルご希望の薬液種に対応する専用サンプルセル(インラインセル、セルユニット)を各種用意しています。
電源AC 100V〜230V(単相)±10%、50/60Hz、約100VA
外形寸法205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部を除く)
質量約11kg

<注記>上記以外の薬液種の濃度モニタに関しては別途ご相談ください。

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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