HE-960H-PA

リン酸濃度モニター

エッチングプロセスで使用されるリン酸濃度モニターです。(リン酸単液)

ガラスカーボンセンサーを採用し、高濃度での分極影響を極力抑え、リン酸単体濃度で80-90wt%の濃度測定が可能です。

 

COND薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-485単成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

耐薬性に優れたセンサー

センサーには耐薬品性ガラスカーボンセンサーを採用しています。

高精度

高濃度リン酸(80-90wt% 温度:20-100℃以内)を精度良く測定が可能です。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

 

製品名高濃度リン酸濃度計
型式HE-960-PA
測定範囲リン酸濃度  80-90wt%
伝送出力4点
通信出力RS-485
電源定格電圧 DC 24V 10W(max.)
外形寸法96(W) mm x 96(H) mm x 115(D) mm 

 

 

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