不純物を極限まで減らし、限りなくH2Oに近づけた高純度の水。超純水は、半導体デバイスやFDP(フラットパネルディスプレイ)の洗浄工程、発電用タービンの蒸気発生器など、様々な用途に利用されています。そして、この超純水は、脱塩やイオン交換、複数の膜処理など、多くの工程を経て製造されます。HORIBAでは、超純水の製造や純度管理に必要となる高精度な計測器を、用途に応じた幅広いラインアップでご用意しています。
高温・高圧対応センサーやサニタリー仕様のフィッティングをラインアップ。FDA 21 CFR Part11 や EHEDG にも対応。
