HE-960LF / FS-09F-1/2

フラットカーボンセンサー導電率計

耐薬品性の高いフラットカーボンセンサーを採用したスラリーの濃度管理に最適な導電率計です。

適切な導電率値を維持することで、スラリーの希釈具合を一定に保ち、ウェハ研磨工程の安定化に貢献します。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Wet Process Control

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高い安定性

測定レンジは0～2,000μS/cmおよび0～10,000μS/cmであり、繰り返し性はそれぞれ±0.5% F/Sおよび±1.0% F/Sと高い安定性を備えています。

金属コンタミフリー

特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。

■指示変換器

製品名		導電率計
型式		HE-960LF
測定方式		2電極方式導電率測定
温度センサ仕様		測温抵抗体 1000Ω（0℃のとき）
測定範囲	セル定数	0.1/cmのとき	1.0/cmのとき
	導電率計	0.00～20.00μS/cm	0.0～200.0μS/cm
		0.0～200.0μS/cm	0～2000μS/cm
		0～1000μS/cm	0～10000μS/cm
		＊温度補償する前の導電率の測定範囲設定変更によるレンジ切り替え
	温度	0～100℃　ただしセンサの仕様に準じる（少数点以下1桁、2桁選択表示可）
濃度変換	任意1、2	0～10.000%（変換式をユーザーで設定）
繰り返し性	セル定数	0.1/cmのとき	1.0/cmのとき
	導電率	0.00～20.00μS/cm range	0.0～200.0μS/cm range	±0.5%フルスケール以内
		0.0～200.0μS/cm range	0～2000μS/cm range	±0.5%フルスケール以内
		0～1000μS/cm range	0～10000μS/cm range	±1.0%フルスケール以内
	温度	±0.5℃以内
	条件	等価入力にて
直線性	セル定数	0.1/cmのとき	1.0/cmのとき
	導電率	0.00～20.00μS/cm range	0.0～200.0μS/cm range	±0.5%フルスケール以内
		0.0～200.0μS/cm range	0～2000μS/cm range	±0.5%フルスケール以内
		0～1000μS/cm range	0～10000μS/cm range	±1.0%フルスケール以内
	温度	±0.5℃以内
	任意濃度	等価入力にて
伝送出力		出力点数：4点　DC4～20mA/0～20mA 入出力絶縁形　最大負荷抵抗：900Ω 　伝送出力レンジ：測定範囲内で任意設定可　 (各伝送出力のマイナス端子は内部で接続されており同電位です）
接点出力		出力点数：5点　警報接点出力（R1～R4）　接点形態：リレー接点、SPST（1a）　接点容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A （抵抗負荷）　接点機能：各測定対象の上、下限動作（ON/OFF制御）、遅延時間　接点動作：動作時間、通常時（電源断含む）開　（但しR1、R2、R3は接点COMMON共通) 　警報接点形態：リレー接点、SPST（1c）　接点容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A （抵抗負荷）　接点機能：エラー、異常警報、保守中より選択設定　接点動作：C-NO間を用いる場合、正常時閉、異常時（電源断含む）開（C-NC間の場合は接点状態が逆になります）（但しR4、RFは接点COMMON共通)
接点入力		入力点数：1点
		入力形態：オープンコレクタ無電圧a接点
		接点機能：伝送出力ホールド
通信出力		RS-485入出力
校正機能		導電率セル定数の補正係数入力による（パラメータ入力）温度基準温度計との比較校正
伝送出力ホールド機能		直前値ホールド、任意値ホールドより選択設定 (但しメンテナンスモードでは、直前値ホールドになります）
自己診断機能		センサ診断（温度センサ短絡、温度センサ断線）変換器異常
導電率温度補償		●任意の温度係数入力（基準温度：5～95℃、温度係数：0～5%/℃ ●任意の温度補償式入力（補償式をユーザで設定） ●温度補償しない
温度補償範囲		0～100℃（ただし0℃以下、100℃以上は延長して演算）
周囲温度		5～45℃
相対温度		－25～65℃
電源		定格電圧 DC24 V 10 W (max)
構造		パネル取付け屋内設置型パネルケース：ABS、端子部:PBT パネル部防滴構造
適合規格		CEマーキング	EMC指令 : EN61326-1
適合規格		FCC規制	FCC Part15
質量		約550g
外形寸法		96 (W) × 96 (H) × 115 (D) mm ケース奥行：約 105mm (パネルマウント時）
適合センサ		FS-09F-1/2

■センサ

形式	FS-09F-1/2	FS-09F-1/2-200
液絡材質	ガラスカーボン　PFA　カルレッツ®
配管サイズ	1/2 インチ
サンプル流量	0～10L/min 流量影響はありませんが、サンプル液や温度置換に必要な流量の確保が必要です。
サンプル圧力	0～0.3MPa ただし20～30℃
サンプル温度	20～30℃ 周囲温度と液温の差が5℃の場合、1℃程度の測定誤差が生じます。
ケーブル長	約3.5m