従来のpH電極は、応答部にガラス膜を用いていますが、ISFETは半導体素子を用いています。半導体素子を用いることで、応答部直近でインピーダンス変換をしている点も従来のpH電極とは異なります。なお比較電極の動作原理は従来のpH電極と同じですが、ゲル状の内部液を用いています。
ガラス電極と同等の精度で測定することができます。
ISFET電極は、内部液がゲル化された無補充式の比較電極を採用しているため、内部液は補充する必要はありません。
内部液がなくなると校正が取れなくなりますので、その場合はセンサを交換してください。
温度測定は可能です。ただし、ISFETはガラス電極と温度特性が異なるため、温度補償はできません。
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