IT-470F-H

빌트인 타입 적외선 온도계

IT-470F-H는 업계 최고*의 정확도를 가진 비접촉식 적외선 온도계로 반도체나 FPD 생산 등 정확도가 높은 온도 측정이 필요한 산업군에 적합한 제품입니다.

* 2017년 HORIBA 자체 실험 결과

±0.1°C*의 높은 정확도 및 0.1°C*의 우수한 반복성(2σ)

*주어진 조건 하에서의 실제값

 

응용 프로그램

정확한 온도 측정이 필요한 반도체 및 FPD 생산용


• 서셉터가 진공 챔버에 있는 경우
챔버 외부에서 창문을 통해 서셉터의 온도 측정이 가능

• FPD 생산 과정에서 액정 기판의 표면 온도 측정 시
비접촉 측정으로써 표면 손상이 없음.

• 폴리싱에서 온도 조절의 경우
비접촉 측정으로써 표면 손상이 없음

 

 

Measurement wavelength8 to 14µm
Measurement temp. range-50 to 200℃
Output resolutionOptical digital output: 0.1℃    Current output ≤0.025%FS
Accuracy*
(Optical digital output)
±4.0℃ (Object temperature -50℃)
±0.8℃ (Object temperature -20℃)
±0.6℃ (Object temperature 0℃)
±0.5℃ (Object temperature 23℃)
±0.4℃ (Object temperature 100℃〜)
(Linear interpolation is applied for the mid-points of object temperature and interpolated data are rounded to one decimal place.)
Repeatability
(Optical digital output)
0.7℃ (Object temperature -50℃)
0.5℃ (Object temperature 23℃)
0.5℃ (Object temperature 200℃)
(In case of the emissivity = 1.000 and use the 2σ value of 10 times measurement)
Response time (Optical digital output)Optical digital output: ≤1.4 sec (running average 1 sec, at 95% response)
Data sampling period0.1 sec
Display update periodOptical digital output: 0.2 sec  Current output: 0.1 sec
Measuring diameterΦ8mm/Distance 150mm (incident light amount 90%)
Emissivity setting0.001 to 1.000 changeable (Setting at factory shipping)
Operating temp. & humidity0 to 55℃, 35〜85%RH (no condensation)
PowerDC24V±5%
FunctionOptical digital output (JIS F05)    Current output 4 to 20mA (Load resistance 100Ω, non-isolated)
Dimensions55×44×96mm Power, Current cable attached (Standard length 2m)
Mass≤300g

 

*조건: 작동 온도 24~29°C(부착 온도 포함), 습도 55±20%, 방사율 보정 설정 1.000

 

제품 문의

HORIBA제품의 자세한 정보를 원하시면, 아래의 양식에 내용을 입력을 부탁드립니다.

* 는 필수입력항목입니다.

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