Spectroscopic Ellipsometers

HORIBA Scientific’s ellipsometers incorporate non-rotating phase modulation and liquid crystal modulation technologies to provide the most sensitive and accurate ellipsometric measurement on a large spectral range from VUV to NIR.

In addition to thin film thickness and optical constants characterization, ellipsometric analysis provides rich information on material properties such as anisotropy, gradient, morphology, crystallinity, chemical composition and electrical conductivity.


분광 위상 변조 Ellipsometer (SPME)  UVISEL 는 어떤 기계적인 운동도 없이 편광을 변조하기 위하여 photoelastic 장치를 내장한 system입니다. 위상 변조 기술은 실험적으로 다양성과 성능면에서 중요한 이점을 제공합니다. 전통적인 ellipsometers와 비교해서 UVISEL 분광 ellipsometer는 얇은 박막 Sample과 낮은 인덱스...


Sample을 보면서 빠르게 두께, 굴절율, 흡수율등을 측정할 수 있습니다.

"Auto SE는 비교 대상이 없다"

Smart SE

Versatile spectroscopic ellipsometer delivering research grade performance at an economical price.