가스 유량
고정밀도 정밀 막유량계는, 유리 체적관에 비누막감지기(실용 신안 등록)를 조합해 각종 가스의 유량을 정밀하게 측정하는 것입니다.유리 체적 관내(기존 체적)를 비누막이 이동하는 시간을 측정해, 그 때의 대기압, 기온등의 값으로부터 가스의 유량을 산출합니다.측정하는 가스의 유량에 의해 4 종류의 유리 체적관 unit(VP-U시리즈)를 갖추고 있습니다.SF-2 U는 본체 내부에 대기압 센서를 내장하고 있으므로...
High precision flow rate measurement with one-touch operation.
생산성향상의 요인으로, 제조설비의 고성능화와 소형화. 저렴한 비용 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스 공급계, 특히 핵심 장비라고 불리우는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-Eseries는 각종 버너가스의 유량제어, 퍼지가스의 유량제어, 자동화가 요구되는 유량제어설비, 소비유량의 축적유량을 파악한 설비등, 다양한 프로세스에 매력이 있는 비용으로 대응하고...
반도체제조장비의 주요 부품 Mass Flow Controller. 그 성능, 품질은 반도체 품질 자체에 영향을 주는 정도로 중요한 역할을 담당하고 있습니다.그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입하고, 세계 30%이상을 자랑하고 있는 호리바에스텍이기 때문에 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 종류의 Mass Flow Controller 가 탄생했습니다. 이제까지 가스의...
Low cost solenoid valve mfc's are suitable for flow control from 0.2sccm to 500slm N2 equivalent.
The leading-edge, high performance pressure insensitive mass flow module installed with the differential pressure detection and the piezo actuator valve. Multi range/gas/pressure solution and G-LIFE Self-Diagnosis function.
Mass Flow Controller 전후에 압력변동이 발생하더라도 안정된 유량제어를 할 수 있습니다. 멀티 챔버의 가스 라인은, 압력변동에 따른 Mass Flow Controller의 크로스토크 현상이 발생하기 쉽기 때문에 라인 Regulator, 압력 Sensor, Filter 가 장착되어 있습니다. 신형 Mass Flow Meter SEC-Z700 series, Criterion D200 Series는...
SEC-8000F/D series 는 종래의 고온환경대응Mass Flow Controller의 Digital 제어회로를 탑재한 모델입니다. Digital Network의 실현함과 동시에 지능화 가스Valve의 구축, 배선감소에 따른 소형화한 가스 판넬의 구축 등 다양한 기체 및 액체 시스템이 구축 가능해 졌습니다. 또 종래 제품의 성능 향상 및 폭넓은 프로세스에 대응하고 있습니다.
생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비...
대유량(〜1000SLM)대응의 Mass Flow Controller 입니다.
독자의 공압Metal Diagram과 볼륨Valve 의 채용과 대유량 및 All Metal 구조를 실현한 모델입니다.
MARK3시리즈는 Mass Flow Controller에 필요한 품질을 변형하지 않고 가격 인하의 가능성을 철저히 추구한 대량생산 모델입니다. 주용도에는 프로세스용의 가스 유량 제어를 가정하여 재현성에 중점을 둔 조정과 가스의 종류, 유량을 한정해 양산하는 것으로써, 대폭적인 가격인하를 실현하였습니다. 정 유량, 장기간의 안정제어와 반복제어용으로 최적입니다. 또 연구실용의 연속유량제어용으로도 알맞습니다.