Low cost mass flow controller SEC-E40MK3/E50MK3

개요

MARK3시리즈는 Mass Flow Controller에 필요한 품질을 변형하지 않고 가격 인하의 가능성을 철저히 추구한 대량생산 모델입니다. 주용도에는 프로세스용의 가스 유량 제어를 가정하여 재현성에 중점을 둔 조정과 가스의 종류, 유량을 한정해 양산하는 것으로써, 대폭적인 가격인하를 실현하였습니다. 정 유량, 장기간의 안정제어와 반복제어용으로 최적입니다. 또 연구실용의 연속유량제어용으로도 알맞습니다.

 

기능

폭넓은 용도에 대응                                                                 일반산업시장에 다수의 납품실적
가격의 이점을 추구, 저비용을 실현

 


제조원 HORIBA STEC

사양

SEC-E40MK3

Materials at gas contact area

SUS316L, Viton®, PTFE,

magnetic stainless steel

Valve type

Close at power-off: C

Standard flow rate range

(N2 equivalent F.S.)

10/20/30/50/100/

200/300/500 SCCM

1/2/3/5/10 SLM

Flow rate control range

2 to 100% F.S.

Accuracy

± 1% F.S.

Types of gas

N2, O2, air, H2, Ar, He

SEC-E50MK3

Materials at gas contact area

SUS316L, Viton®, PTFE,

magnetic stainless steel

Valve type

Close at power-off: C

Standard flow rate range

(N2 equivalent F.S.)

20/30 SLM

 

Flow rate control range

2 to 100% F.S.

Accuracy

± 1% F.S.

Types of gas

N2, O2, air, H2, Ar, He

외형도

SEC-E40mk3 E50mk3