Mass flow meter SEF-E series

개요

생산성 향상의 요인으로서 제조 설비의 고성능화나 소형화•Low cost화등이 주목되고 있습니다.이러한 요구는 가스 공급계, 특히 키 디바이스라고 칭해지는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-E series는 각종 버너 가스의 유량 제어, 퍼지 가스의 유량 제어, 실험 가스로의 가스 유량 제어, 자동화가 요구되는 유량 제어 설비, 소비 유량의 적산량을 파악하고 싶은 설비 등, 여러 가지 프로세스에 매력있는 가격으로 대응하고 있습니다.

 

기능

광범위한 유량 제어에 대응:동일 시리즈로 0.2 SCCM로부터 500SLM(N2)까지의 유량 제어 대응
폭넓은 용도에 대응:일반 산업 시장에 있어 다수의 납입 실적을 자랑하고 있습니다.
Low cost:비용 이점을 추구한 모델을 구성:SEC-E40MK3/E50MK3


제조원 HORIBA STEC

사양

E series specification overview

Flow range N2 equivalent

    

10sccm~500slm

Gas compatibility

Non corrosive gases.

Valve Type

Solenoid valve normally closed with power off

 Click here for detailed specification.

외형도

schematics
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