Chamber Exhaust Pressure Controller.

개요

chamber의 내부 압력을 임의의 값에 일정하게 제어하는 배기압 Controller 입니다. 고분해능의 스테핑 모터와 독자 구조의 버터플라이 밸브에 의해 고속 응답·고분해  성능을 실현하고 있습니다.

 

기능

고진공 대응: 스텐레스 보디를 채용
내부식성 대응: PTFE(불소 수지) 채용 모델도 구성
배기압 제어 시스템을 구축: - 미세한 차압 센서(EMTGC1B-A
콘트롤러(PCU-3000)를 구성
RoHS  대응

 


제조원 HORIBA STEC

사양

Model                   EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.

외형도

Dimensions of EC-5000 Series