Mass Flow checker MFT-20

개요

Mass Flow Controller에 이상이 발생한 경우는, 그 원인 찾기 위해 MFC의 시스템을 구성하고 있는 SEC·전원·표시기·설정기·케이블등의 이상이나 SEC 자체의 이상 원인을 발견하지 않으면 안됩니다.MFT-20에서는, SEC를 구동, 입출력하고 있는 전압을 모니터 하거나 MFT-20에 의해 제어하는 일로 SEC가 정상적인가를 체크할 수가 있습니다.따라서 SEC를 장치 배관으로부터 떼어내기 전에 신속하게 SEC의 트러블이나 전원등의 트러블을 확인할 수 있습니다.또, 본체에 내장하고 있는 포텐셜 메타에 의해 SEC를 제어하는 것도 가능합니다.

기능

배관에서 탈착하는 일 없이 간단하게 Check가 가능
별도의 전원 불필요(기존의 신호 케이블의 전원을 사용)
밸브 full open/ full close 가능
오토 제로 기능의 사용이 가능(오토 제로 기능을 장비하고 있는 SEC 한정)


제조원 HORIBA STEC