Chemical 농도계
Enables highly stable, precise measurement of multi components chemical solution utilizing HORIBA's spectroscopic measurement technology
Enables improved cleaning process efficiency with "high temperature chemical measurement", "stable operation" and "compact body size" to meet leading-edge process requirements.
High precision, wide-range dissolved ozone monitor. In-line type sensor.
Wide range HF concentration monitor from low to undiluted liquid. High precision measurement with auto range switching function. All PFA sensors.
CS-150은, 반도체 세정 공정에 쓰이는 SPM 농도 모니터입니다. 기존 제품과는 차별화 된 고속응답성과 장비의 소형화를 실현. registration박리나 유기물의 제거에 사용되는 SPM용액(H2SO4/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람기능으로 자동보급하는 타이밍을 알려드립니다. 고속응답, 짧은 측정 주기의 실현으로 농도변화에 대하여도 충실하게 대응하고,또 컴팩트한...
CS-153은, 반도체【WET-ETCHING Process】의 엄격한 니즈에 대응하기 위해서 개발된 고정밀도인 약액농도 모니터입니다. 산화막과 함께 금속불순물을 제거하기 위해서 사용되는 FPM용액(HF/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람에서 시약교환이나 자동보급하는 타이밍을 알립니다. 이것에 의해 FPM용액의 농도를 허용 범위에 유지하는 동시에 쓸데 없는 시약교환을 없앨 수...
고속 응답 속도와 컴팩트한 설계는 SC-2용액 농도 모니터를 웨이퍼와 배치타입 세정공정에서 가장 이상적인 선택으로 만듭니다.
High precision TMAH monitor can measure the range from 0 - 3 %. Chemical resistance carbon sensor. Suitable for management of TMAH concentration in developer solution.
반도체 제조나 FPD제조 공정의 물약,배액관리에 사용할 수 있습니다. 4극식 카본센서를 사용해서 0~1000mS/cm레인지를 측정합니다. 또 2가지의 농도 환산 기능이 있으며 특정 약품의 농도 변화에 대한 모니터링이 가능하고 process농도계로도 사용할 수 있습니다.
세정 시스템과, 내약품성이 우수한 카본 센서 비저항계입니다. 세계최초의 카본센서 비저항계로 기존 GC-96R의 다음 모델입니다. 48/96시리즈의 기종 중 하나로 카본센서 사용으로 다양한 샘플을 측정할 수 있습니다.
공업용 pH측정기 HP-480은 사용 빈도가 높은 기능을 중심으로 구성된 pH측정기 입니다. 각종 공업 분야에서 제조공정의 감시, 품질검사, 수산, 양식까지 폭넓은 용도로 사용됩니다.