SPM 모터너, CS-150

SPM Monitor image

개요

CS-150은, 반도체 세정 공정에 쓰이는  SPM 농도 모니터입니다. 기존 제품과는 차별화 된 고속응답성과 장비의 소형화를 실현. registration박리나 유기물의 제거에 사용되는 SPM용액(H2SO4/H2O2/H2O)의 각 성분농도를 실시간으로 측정하고, 알람기능으로 자동보급하는 타이밍을 알려드립니다. 고속응답, 짧은 측정 주기의 실현으로 농도변화에 대하여도 충실하게 대응하고,또 컴팩트한 설계로 용이하게 세정 장치에 설치할 수 있습니다.

기능

  • 약3초의 측정 주기로 300mm 공정의 농도관리 지원
    약3초의 짧은 측정 주기 실현. 실시간으로 농도의 경향성 파악이 가능합니다. multibus는 물론 Onebus 방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다.
  • 컴팩트한 설계로 세정 장치의 공간절약화에 공헌
    바닥면적은 종래와 비교하여 약 2/3(*)의 컴팩트한 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌. 용이하게 세정 장치에 설치할 수 있습니다.
    *당사제품CS-340과의 비교
  • 세정 공정에서의 로트 불량감소로 효율 향상
    모니터 출력을 이용해서 SPM용액의 보급 제어를 행함으로, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 효율 향상에 공헌합니다.
  • 풀 오토 측정으로, 간단한 관리를 실현
    사용자는 SPM용액을 주입하는 것 뿐. 측정은 풀 오토이므로, 측정 시작 후의 제어는 일체 불필요합니다.
  • 완벽한 기포 대책에 의해, 연속 측정이 가능
    기포제거 기능을 내장하여, 플로우 셀 직전에서 기포을 분리하기 때문에, 액을 유실시킨 상태에서도 연속 측정이 가능하게 되었습니다.
  • DC24V를 채용하고, 높은 안전성을 실현
    전원은, 저전압DC24V를 채용하고, 감전에 대한 안전성을 한층 더 향상시켰습니다. 또 누수 센서 내장으로 누수 발생시에 SPM용액공급 차단 등의 긴급대응이 가능합니다.

제조원 HORIBA Advanced Techno

사양

Specification Attribute

Specification Value

Model

CS-150

CS-150C

Model specifications

No cooling unit

Integrated cooling unit

Measurement sample

SPM (Sulfuric acid/Hydrogen peroxide aqueous solution)

Measurement principle

Absorption spectrometry

Concentration computation principle

Temperature-compensated multivariate analysis

Measurement range

H2SO4: 50.0 to 90.0 %

H2O2: 0.00 to 10.00 %

H2O: 0.0 to 50.0 %

Reproducibility

H2SO4: ±0.5 %

(Peak to peak)

H2O2: ±0.50 %

H2O: ±1.5 %

 

Chemical conditions

Temperature

20 to 30 °C

20 to 60 °C

 

Flow rate

20 to 60 ml/min.

20 to 40 ml/min.

 

Pressure

0.10 to 0.20 MPa

Measurement cycle

Approx. 3 seconds minimum

Equipment temperature

20 to 25 °C

Operation panel

1)Temperature level display:

Sulfuric acid, Hydrogen peroxide, Water

2)Alarm display (Sulfuric acid, Hydrogen peroxide):

Concentration low-low limit, Concentration low limit,

Concentration high limit, Concentration high-high limit

3)Alarm value settings (Sulfuric acid, Hydrogen peroxide):

Concentration low-low limit, Concentration low limit,

Concentration high limit, Concentration high-high limit

Serial input/output

RS-232C

1)Concentration data:

Sulfuric acid, Hydrogen peroxide, Water

2)Alarm value settings (Sulfuric acid, Hydrogen peroxide):

Concentration low-low limit, Concentration low limit,

Concentration high limit, Concentration high-high limit

Parallel input

12 to 30 V DC (photocoupler insulated)

Parallel concentration alarm (ON/OFF)

Parallel output

Maximum current when open collector output is ON:

5 mA

Maximum voltage when open collector output is OFF:

30 V

1)Alarm output: Sulfuric acid, Hydrogen peroxide:

Concentration low-low limit, Concentration low limit,

Concentration high limit, Concentration high-high limit

2)Device error (including liquid leakage)

3)Under measurement

 

Analog output

4 to 20 mA

(2 outputs: H2SO4: 50.0 to 100.0 %/H2O: 0.00 to 10.00 %)

The analog output can be prepared to correspond to each

requirement by users. (Please specify when ordering.)

Power

24 V DC ±10%, 2 A

Dimensions

205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

8.1 (W) x 13 (D) x 10.6 (H) in

291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

11.5 (W) x 13 (D) x 10.6 (H) in

Mass

Approx. 11 kg

Approx. 12 kg

Connection pipe size

For inlet and outlet: Outer diameter 6 mm (inner diameter 4 mm)

Pipe connection

Nippon Pillar Super type