버블링 공급 라인용 인 라인 가스 농도 모니터. 재료 가스의 안정공급에.LED 제조 프로세스나 광디바이스 제조 프로세스등에서 폭넓게 채용되고 있는 MOCVD(유기 금속 기상 성장법).이 MOCVD 장치에는 액체/고체 재료가 이용되어 일반적으로는 버블링 방식에 의해 기화 가스로서 챔버에 공급됩니다. 이 재료 가스 공급 라인에 대하고, 안정된 성막 프로세스의 실현 때문에, 리얼타임의 가스 농도 모니터링이...
