가스 농도모니터

버블링 공급 라인용 인 라인 가스 농도 모니터. 재료 가스의 안정공급에.LED 제조 프로세스나 광디바이스 제조 프로세스등에서 폭넓게 채용되고 있는 MOCVD(유기 금속 기상 성장법).이 MOCVD 장치에는 액체/고체 재료가 이용되어 일반적으로는 버블링 방식에 의해 기화 가스로서 챔버에 공급됩니다. 이 재료 가스 공급 라인에 대하고, 안정된 성막 프로세스의 실현 때문에, 리얼타임의 가스 농도 모니터링이...

반도체 제조의 성막 프로세스는, 미세 가공의 진보에 수반해, 처리 후의 챔버를 항상 깨끗한 상태에 유지하는 것이, 생산성 향상에 중요해지고 있습니다.IR-200은, 체임버 클리닝 프로세스에 대하고, 클리닝 가스로서 이용되고 있는 불소계 가스와 실리콘과의 반응 생성 가스인 SiF4 가스 농도를 리얼타임에 모니터링 해, 클리닝 종점의 판별을 합니다.