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배출 제어 시스템

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series

Chamber Exhaust Pressure Controller.

chamber의 내부 압력을 임의의 값에 일정하게 제어하는 배기압 Controller 입니다. 고분해능의 스테핑 모터와 독자 구조의 버터플라이 밸브에 의해 고속 응답·고분해  성능을 실현하고 있습니다.

 

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