Digital Automatic Pressure Regulator UR-Z700 series

개요

UR-Z700 series는 고정밀도 압력 센서, 고분해능·고속 응답의 Piezo Valve 를 탑재한 디지털 타입의Auto Pressure Regulator 입니다. 디지털 네트워크의 실현에 의해, 고도의 액체 재료 기화 시스템의 구축, 배선 단축화에 의한 심플한 가스 패널의 구축 등, 한층 더 높은 수준의 유체 제어 시스템이 구축이 가능해졌습니다.또, Ultra Clean 대응으로, 초고순도 가스 공급계나 활성 가스 라인 등의 압력 제어 기기에 최적입니다.

 

기능

Ultra Clean 대응
장착 자세가 자유로운 마운트 프리 디자인 
일차측 제어 타입(-B타입), 2차측 제어 타입 구성
Gauge압력 타입, 절대 압력 타입 선택 가능
RoHS 대응

 


제조원 HORIBA STEC

사양

Please click here for Devicenet™ Pressure Regulator detailed specification

외형도

Dimensions of Auto Pressure Regulator UR-Z700 Series

악세사리


PE-series
Mass Flow Controller · Mass Flow Meter나 오토 압력 레귤레이터의 구동 전원 및 아날로그 제어시의 설정 기준 전압:5 VDC를 공급하는 Unit.
Display unit DU series
유량·압력 신호(0~5VDC)를 디지털 표시하는 Unit.