Piezo actuator valve

개요

고속 응답의 Piezo Valve 를 내장해, 접가스부가 모두 메탈 구조로 Ultra clean 대응의 고순도 가스 공급계에 최적

Metal Seal 방식으로 가장 낮은 leak

가스 뿐만이 아니라, 액체의 유량 제어도 가능

기능

Ultra clean 대응:모두 메탈 구조를 채용
광범위는 유체 제어에 대응:미소 유량으로부터 대유량의 유체 제어가 가능
고온 대응 모델 구성:PV-1000 S/2000 S타입
RoHS 지령 적합

 

 

 

 


제조원 HORIBA STEC

사양

GHPV-1000

Flow Range

1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (Inlet:atmospheric pressure•Outlet:vacuum•N2equiv)

Flow Control Range

2 -100% F.S.

Valve Type

normally open / close

Input Signal

0 - 5VDC

Responce

less than 0.5 sec.

Operating Temperature

0 - 50 °C

Operating Diffential Pressure

MAX. 300 kPa(a)(max,42psi)

Pressure Resistance

1MPa

Leak Integrity

5×10-12Pa•m3(He)

PV-2000

Flow Range

10/20 LM

Flow Control Range

2 -100% F.S.

Valve Type

normally open / close

Input Signal

0 - 5VDC

Responce

less than 0.5 sec.

Operating Temperature

0 - 50 °C

Operating Diffential Pressure

MAX. 300 kPa(a)(max,42psi)

Pressure Resistance

1MPa

Leak Integrity

5×10-12Pa•m3(He)

외형도

Dimensions of PV Series