고속 응답의 Piezo Valve 를 내장해, 접가스부가 모두 메탈 구조로 Ultra clean 대응의 고순도 가스 공급계에 최적
Metal Seal 방식으로 가장 낮은 leak
가스 뿐만이 아니라, 액체의 유량 제어도 가능
