HORIBA — один из крупнейших поставщиков контроллеров массового расхода, имеющих обширный опыт на рынке вакуумных руднотермических отопительных систем.

Диапазон потока устройств HORIBA варьирует от нескольких кубических сантиметров в минуту до многих сотен литров в минуту.

Контроллеры массового расхода HORIBA способны обеспечивать точный контроль газа при исключительной воспроизводимости благодаря нашему широкому ассортименту многофункциональных устройств, что позволяет сократить количество оборудования на площадке.

Для работы вакуумных руднотермических отопительных систем требуется точный и стабильный поток газа. В этих целях контроллеры массового расхода используются для контроля ряда газов, в том числе азота, водорода, гелия и аргона. Основная цель применения этих газов — предотвратить процесс окисления и поддержать контроль температуры.

Испарители и массовые расходомеры жидкости HORIBA идеально подходят для применения в областях, в которых требуется добавление в процесс влаги для раскисления поверхности материалов.

HORIBA предлагает различные типы испарителей для широкого ряда жидких материалов в соответствии с различными требованиями заказчиков.

Контроллеры расхода способны с точностью отслеживать скорость расхода, например, этилена и водорода в вакуумно-обуглероживающих отопительных системах.

Кроме того, обеспечивается однообразие процесса обуглероживания с помощью измерения выхлопного давления в отопительной системе с помощью емкостного манометра серии VG-200, что может способствовать более высокой производительности.

Furnace
Vacuum Carburizing Furnace

Контроллер потока может точно контролировать скорость потока , таких как этилен и водород в вакууме печи науглероживания .
Кроме того , равномерность цементации путем измерения давления выхлопных газов для печи с емкостью манометрической VG - 200 серии , и это может способствовать повышению производительности.

Furnace Image Map Furnace

Сопутствующая продукция

Массовые расходомеры / контроллеры массового расхода

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Pressure Insensitive Mass Flow Module D500

The leading-edge, high performance pressure insensitive mass flow module installed with the differential pressure detection and the piezo actuator valve. Multi range/gas/pressure solution and G-LIFE Self-Diagnosis function.

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D/E

The digital mass flow controller for high-temperature environment, from 15 ℃ to 120 ℃. Digital/Analog communication.

Испарители жидкости

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

Vaporize liquid source stably by the gas-liquid mixture vaporization method. Can be used for low temperature and large flow production.

Direct Injection System VC Series

The compact vaporization system does not require carrier gas, it can be used with either a liquid or gas flow meter, allowing for easy integration for direct liquid injection.

Compact Baking System LSC Series

Best-selling, compact baking system suitable for a range of liquid source delivery applications. Easy maintenance.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Расходомеры / контроллеры массового расхода жидкости

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.

Capacitance Manometer VG Series

Compact all metal capacitance manometer