การตรวจสอบการปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศของไฮโดรเจนซัลไฟด์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ระบบตรวจวัด H ₂ S ด้วยเทคโนโลยี UV Fluorescence -

สารปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ (AMC) คือการปนเปื้อนของอากาศที่มีอยู่ในรูปแบบโมเลกุลและมีบทบาทสำคัญต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่แม้ว่าจะมีความเข้มข้นในระดับ ppb ต่ำมากก็ตาม

AMC แบ่งออกเป็นหมวดหมู่ เช่น กรดอนินทรีย์ กรดอินทรีย์ และกํามะถัน ในบรรดาไฮโดรเจนซัลไฟด์ (H ₂ S) ก่อให้เกิดผลกระทบด้านลบเช่นการสูญเสียลักษณะของผลิตภัณฑ์เนื่องจากกําลังรีดเมื่ออยู่ในรูปแบบก๊าซและการกัดกร่อนของพื้นผิวโลหะเมื่อ มีอยู่ในรูปของของเหลว แหล่งปนเปื้อน H ₂ S แพร่กระจายอย่างกว้างขวาง ตัวอย่าง ได้แก่ การระเบิดของภูเขาไฟและการปะทุ การทํางานของเครื่องจักรกลหนักที่ใช้ดีเซลเป็นเชื้อเพลิง ซึ่งเพิ่มความเข้มข้นของ AMC ในห้องปลอดเชื้อผ่านการดูดอากาศเข้า ดังนั้นตัวกรองเคมีจึงถูกนํามาใช้กันอย่างแพร่หลายเพื่อกําจัด H ₂ S ก่อนเข้าสู่ห้องปลอดเชื้อและระดับการปนเปื้อนจะถูกตรวจสอบตามอัตภาพโดยไอออนโครมาโตกราฟี

เนื่องจาก H ₂ S มีความสามารถในการละลายต่ําในน้ําภายใต้สภาวะที่เป็นกลางถึงเป็นกรด และการแยกตัวของมันก็ต่ําเช่นกัน จึงเป็นเรื่องยากที่จะตรวจจับการนําไฟฟ้าด้วยไอออนโครมาโตกราฟี ดังนั้นสารละลายอัลคาไลน์และไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์จึงมักผสมและใช้เป็นของเหลวเก็บ

อย่างไรก็ตาม มักเกิดอคติ (ข้อผิดพลาดของมนุษย์) ที่เกิดจากความแตกต่างในอัตราส่วนการผสมขึ้นอยู่กับบุคลากร ทำให้ผลการวิเคราะห์ไม่เสถียร นอกจากนี้ เนื่องจากการวิเคราะห์แต่ละครั้งต้องใช้เวลา (หลายวันสำหรับผลการทดสอบแต่ละครั้ง) และต้นทุนแรงงาน จึงทำให้โรงงานหลายแห่งไม่สามารถเพิ่มความละเอียดของเวลาและพื้นที่ในการวิเคราะห์ได้

โดยสรุป การวิเคราะห์ด้วยตนเองอาจมีอคติ ไม่จับเหตุการณ์แบบสุ่ม เช่น การเพิ่มขึ้นอย่างไม่คาดคิดใน H ₂ ความเข้มข้น S เนื่องจากการระเบิดของภูเขาไฟอย่างกะทันหันหรือการเสื่อมสภาพของตัวกรองสารเคมี และไม่ได้ให้ข้อมูลเพียงพอที่จําเป็นสําหรับการรับรู้การปนเปื้อนและการปนเปื้อนของสารเคมีอย่างทันท่วงที การวิเคราะห์แหล่งที่มาเนื่องจากปัญหาต้นทุนแรงงาน

เสียงของผู้จัดการฝ่ายคุณภาพสิ่งอำนวยความสะดวกในห้องปลอดเชื้อ

• ต้องการลดอคติในการวิเคราะห์และรับผลการวิเคราะห์ที่เชื่อถือได้
• จำเป็นต้องเพิ่มความละเอียดของเวลาและพื้นที่ในการวิเคราะห์เพื่อการตรวจจับและการรับรู้แหล่งที่มาของการปนเปื้อนอย่างรวดเร็ว แต่การวิเคราะห์ด้วยมือนั้นมีราคาแพง
• ข้อมูลจำเพาะและการใช้งานของระบบวิเคราะห์อาจแตกต่างกันอย่างมากจากโรงงานหนึ่งไปยังอีกโรงงานหนึ่ง

การวัดการปนเปื้อน H ₂ S อย่างต่อเนื่องในจุดสุ่มตัวอย่างหลายจุดของห้องปลอดเชื้อ (เต้าเสียบตัวกรองสารเคมี พื้นที่ใกล้อุปกรณ์ พื้นที่ที่มีคนทํางานจํานวนมาก) ช่วยในการ ตระหนักถึงจุดของการปนเปื้อน H ₂ S และใช้มาตรการป้องกันผลกระทบต่อการเสื่อมสภาพคุณภาพของผลิตภัณฑ์ทันที การตรวจสอบอย่างต่อเนื่องและซอฟต์แวร์พิเศษรองรับการตั้งค่าเกณฑ์การปนเปื้อนและการดําเนินการที่ง่ายและคุ้มค่า

ตัวอย่างจุดสุ่มตัวอย่าง

ตัวอย่างข้อมูลการวัด H ₂ S