Yarıiletken Üretiminde Amonyak Havadaki Moleküler Kirliliğin İzlenmesi

- NH₃ Monitör -

Havadaki moleküler kirleticiler (AMC'ler), son derece düşük ppb konsantrasyonlarında bile modern yarı iletken üretiminde ürün kalitesi sorunlarına neden olur. AMC'ler ilk olarak 1990'larda kimyasal olarak güçlendirilmiş dirençlerin piyasaya sürülmesiyle bir sorun haline geldi. Direnç içindeki fotolitik olarak başlatılan asitler, temiz odadan gelen havadaki amonyak (NH₃) ile nötralize edildiğinde bir kusur meydana geldi. Bu etkileşim, hat genişliğini ve hat yapılarını bozduğu için cihaz arızası ile ilgilidir. Bu nedenle, temiz odada amonyak havadaki moleküler kontaminasyonun ölçümü yaygınlaştı ve İyon Kromatografisi uzun süredir kullanılıyor.

Temiz odadaki amonyak kontaminasyonu farklı, bazen beklenmedik kaynaklardan gelebilir: dış hava girişi, personelden buharlaşma veya ekipmandan sızıntı. Zaman zaman, amonyak konsantrasyonunun artmasına ve retiküllerin ve aynaların optik yüzeyinde puslanmaya neden olan rastgele olaylar olabilir. Bununla birlikte, herhangi bir yerden gelebileceğinden, üretim verimini etkilemeden önce amonyak kontaminasyonunun kaynağını hızlı bir şekilde belirlemek ve ortadan kaldırmak sorunludur.

AMC'lerin manuel analizi, yüksek uzamsal çözünürlük sağlamaz ve kontaminasyonun tespit edilmesinde gecikebilir, bu da kontaminasyonun temiz oda boyunca yayılmasına ve verimin bozulmasına yol açmasına neden olabilir.

Amonyak hava kaynaklı moleküler kontaminasyonun neden olduğu verim kaybını en aza indirmek için, kontaminasyon kaynağının hızlı bir şekilde belirlenmesi ve acil karşı önlemler için yüksek mekansal çözünürlüğe sahip analiz verilerinin elde edilmesi son derece önemlidir.

Temiz Oda Tesisi Kalite Departmanı Yöneticilerinin Sesi

Analizin mekansal çözünürlüğünü artırma ihtiyacı, ancak manuel örnekleme ve analizin artması pahalıdır ve büyük zaman aralığına sahiptir
Analitik sistemin tasarımına ilişkin gereksinimler fabrikadan fabrikaya değişir

HORIBA 'den Çözüm

NH₃ Monitörün Özellikleri

Yüksek uzamsal çözünürlük için birden fazla örnekleme noktasına sahip Çizgi Seçici
4, 8, 16 ve daha fazla örnekleme noktası için müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilmiştir.
Ölçüm aralığı: maks. 0-1000 ppb, min. 0-100 ppb, LDL 1 ppb.

Zaman ve maliyet verimliliği
Otomatik ölçüm, özel beceri gerektirmez.
Yönetim maliyetini, zaman ve işçilik maliyetini azaltmaya yardımcı olur.

Taşınabilir
Tramvay arabasındaki portatif sistem, binanın farklı temiz odalarında tek bir sistemin kullanılmasını sağlar.
Fabrikanın farklı tesislerinden AMC izleme verilerinin alınmasına izin verir: depo, temiz oda vb.

HORIBA'nın Yarı İletken Temiz Oda Çözümü

AMC analizinin manuel olarak yapıldığı temiz odada, yalnızca Şekil 1'in [5] noktasında numune alma, kontaminasyonun tespitinde gecikmeye ve AMC'nin tüm temiz odaya yayılmasına neden olabilir. Şekil 1'de yer alan HORIBA örnekleme noktasına sahip Hat Seçici ve AMC İzleme Sisteminden oluşan çok noktalı ölçüm sistemi [1] [2] [3] [4] [5], analizin uzamsal çözünürlüğünü artırmaya olanak tanır, bu da AMC kaynağının erken tespitine ve hızlı karşı önlemlere yol açar. Bu tür çok noktalı AMC izleme sistemi, üretim veriminde, cihaz kalitesinde ve güvenilirlikte iyileşmeye katkıda bulunabilir.

Çok Noktalı AMC İzleme