Yarı İletken İmalatında Hidrojen Sülfür Havadaki Moleküler Kirlenmenin İzlenmesi

- UV Floresan Teknolojili H₂ S Monitör -

Havadaki moleküler kirleticiler (AMC'ler), moleküler formda bulunan ve son derece düşük ppb seviyesi konsantrasyonlarında mevcut olsa bile modern yarı iletken üretiminin ürün kalitesinde kritik bir rol oynayan havanın kirlenmesidir.

AMC'ler İnorganik Asitler, Organik Asitler ve Sülfürlü gibi kategorilere ayrılır. Hepsinden önemlisi, hidrojen sülfür (H₂ S), gaz halinde bulunduğunda indirgeme gücü ve sıvı halde bulunduğunda metal yüzey korozyonu nedeniyle ürün karakteristik kaybı gibi olumsuz etkilere neden olur. H₂ S kontaminasyon kaynağı yaygın olarak yayılmıştır. Örnekler arasında volkanik aktivite ve patlama, yakıt olarak dizel kullanan ağır makinelerin çalıştırılması ve temiz odadaki AMC konsantrasyonunun takviye hava girişi yoluyla artırılması sayılabilir. Bu nedenle, kimyasal filtreler, temiz odaya girmeden önce H₂ S'yi çıkarmak için yaygın olarak kullanılır ve kirlenme seviyesi geleneksel olarak İyon Kromatografisi ile kontrol edilir.

H2 S, nötr ila asidik koşullar altında suda düşük çözünürlüğe sahip olduğundan ve ayrışması da düşük olduğundan, iyon kromatografisi ile elektriksel iletkenliği tespit etmek zordur. Bu nedenle, bir alkali ve hidrojen peroksit çözeltileri yaygın olarak karıştırılır ve toplama sıvısı olarak kullanılır.

Bununla birlikte, genellikle personele bağlı olarak karışım oranlarındaki farklılıktan kaynaklanan yanlılık (insan hataları) vardır ve bu da kararsız bir analiz sonucu ile sonuçlanır. Ek olarak, her analiz zaman (her test sonucu için birkaç gün) ve işçilik maliyeti gerektirdiğinden, analizin zaman ve mekan çözünürlüğünü artırmak birçok fabrika için finansal olarak ulaşılamaz.

Sonuç olarak, manuel analiz yanlılığa sahip olabilir, ani volkanik aktivite veya kimyasal filtre bozulması nedeniyle H₂ S konsantrasyonundaki beklenmedik artış gibi rastgele olayları yakalamaz ve işçilik maliyeti sorunu nedeniyle kimyasal kontaminasyonun zamanında tanınması ve kontaminasyon kaynağı analizi için gerekli verileri sağlamaz.

Temiz Oda Tesisi Kalite Departmanı Yöneticilerinin Sesi

Analiz yanlılığını azaltmak ve güvenilir analiz sonuçları elde etmek isteyenler

Kirlilik kaynağının hızlı bir şekilde tespit edilmesi ve tanınması için analizin zaman ve alan çözünürlüğünü artırma ihtiyacı vardır, ancak manuel analiz pahalıdır

Analitik sistem özellikleri ve uygulaması, fabrikadan fabrikaya önemli ölçüde değişebilir

HORIBA 'den Çözüm

H₂ S Monitörün Özellikleri

İnsan hatası olmadan otomatik doğrudan ölçüm
Yüksek hassasiyet ile kararlı gerçek zamanlı ölçüm.
Ölçüm aralığı: maks. 0-100 ppb, min. 0-10 ppb

Kolay operasyonlar
Özel beceriler gerekli değildir.
Yönetim maliyetini, zaman ve işçilik maliyetini azaltmaya yardımcı olur.

Hassasiyeti optimize etmek için özel olarak ayarlanmış sistem
Analizörler, numune alma ünitesi ve yazılım, portatif araba (isteğe bağlı) dahil olmak üzere eksiksiz paket.
En çok satan ortam havası monitörü APSA-370'in optik bileşenleri, sinyal-gürültü oranını iyileştirmek için optimize edilmiştir. Analizör, diğer yönlerden ödün vermeden gelişmiş yöntemin performansını elde edebilir.

HORIBA'nın Yarı İletken Temiz Oda Çözümü

Temiz odanın birden fazla numune alma noktasında (kimyasal filtrenin çıkışı, ekipmanın yakınındaki alan, çok sayıda kişinin çalıştığı alan) H₂ S kontaminasyonunun sürekli ölçümü, H₂ S kontaminasyonunun atılım noktasının tanınmasına ve ürünün kalite bozulması üzerindeki etkinin önlenmesi için derhal önlemlerin alınmasına yardımcı olur. Sürekli izleme ve özel yazılım, kontaminasyon eşiklerinin ayarlanmasını ve kolay, uygun maliyetli operasyonların gerçekleştirilmesini destekler.

Örnekleme noktaları örneği