PDF
0.43
MB
Ultra Yüksek Saflıkta Oksijende (UHPO) CH4'ün İzlenmesi (Uygulama Notu)
Oksijen, oksit oluşturmak için yüksek reaktif özelliklere sahip olup, çelik endüstrisi, sağlık sektörü, gıda endüstrisi vb. birçok alanda önemli bir rol oynamaktadır. Bunlar arasında, özellikle Ultra Yüksek Saflıkta Oksijen (UHPO) kullanan uygulama olan kapı dielektrik film oluşumu / kapı elektrot oluşumu ile yarı iletken endüstrisi de bulunmaktadır. UHPO'nun saflığı genellikle% 99.9995 veya daha yüksektir ve esas olarak Hava Ayırma Ünitesinde (ASU) üretilir.
ASU'ya alınan atmosferik hava sıkıştırılır ve "soğuk kutu" adı verilen sistemden geçer. Proses boyunca oksijen, nitrojen ve argon gibi ana ortam havası bileşenleri sıvılaştırılır ve farklı donma noktalarında ayrılır. Güvenlik işlemleri ve nihai üründeki saflığın daha da iyileştirilmesi için, işlemin sonunda ek saflaştırma ünitesi kullanılır.
Prosesin düzgün çalışmasını sağlamak için birden fazla analitik ekipman kullanılır. Özellikle metan (CH4) ölçümü için, Alev İyonizasyon Algılama (FID) analizörü yaygın olarak kullanılır, ancak aşağıdakiler gibi çeşitli zorluklar vardır:
Çapraz modülasyonlu çift ışınlı NDIR tekniği, saf oksijende CH4'ün gerçek zamanlı ppb seviyesi izlemesi için önemli ölçüde geliştirilmiş sıfır kayma ve hassasiyet sağlar.
NDIR tekniği, kullanım gazı olarak hidrojene ihtiyaç duymaz ve ölçüm güvenliğini sağlar.
Resim1: Kalıntı gas monitörü GA-370
| Ölçülen gazlar | CO, CO2, CH4 |
| Ölçüm aralıkları | 0-1 / 2/5/10 ppm |
| LDL | 10 ppb |
| Seçilebilir aralık | 4 aralık |
| Tekrarlanabilirlik | +/- Tam ölçeğin %2'si |
| Doğrusallık | +/- Tam ölçeğin %2'si |
| Sıfır sürüklenme (hafta) | +/- 0,03 ppm |
| Açıklık kayması (hafta) | +/- 3% of full scale |
Şekil2: Hava Ayırma Ünitesi
Farklı atomlardan oluşan moleküllerin belirli bir dalga boyu aralığında kızılötesi ışığı emdiği bilinmektedir. Dağılmayan kızılötesi analizör (daha sonra NDIR), moleküllerin yukarıdaki fiziksel özelliğini kullanır ve numune gazındaki CO, CO2 ve / veya CH4'ün spesifik dalga boyunda kızılötesi ışık emilimini ölçer ve konsantrasyon değerinin sürekli ölçümünü sağlar.
çapraz modülasyon yöntemi olarak bilinen bu yöntem, numune gazını ve referans gazı dönüşümlü olarak aynı gaz hücresine sokmak için bir solenoid valfin düzenli aralıklarla değiştirildiği bir mekanizma (modülasyon mekanizması) kullanması özelliğinde bir kıyıcı ile geleneksel modülasyondan farklıdır.
Bu çapraz modülasyon yöntemi çok küçük bir sapmaya sahiptir ve uzun vadede kararlı bir çıkış sinyali üretir. Ek olarak, kondansatör mikrofonun diyaframı sola ve sağa hareket eder (bir kıyıcı kullanırken sinyal miktarını iki katına çıkarır), bu da gürültü bağışıklığını artırır. Kıyıcıdan farklı olarak, modülasyon mekanizmasına bakım yapılırken herhangi bir ayarlama yapılması gerekmez.
Ayrıca, ölçüm bileşeni tarafından emilen belirli dalga boyuna yakın dalga boyu bantlarına sahip girişim bileşeni gazlarının neden olduğu girişim etkilerini azaltmak için, gaz konsantrasyonunun son derece hassas ölçümünü elde etmek için girişim bileşenleri için bir kompanzasyon dedektörü dahil edilmiştir. NDIR'nin bir çapraz modülasyon yöntemi ve girişim bileşeni için bir kompanzasyon dedektörü ile kombinasyonu, ppb seviyesinde son derece hassas ölçüm sağlar.
Şekil3: Çapraz modülasyonlu çift ışınlı dağılmayan kızılötesi tekniği. Akış Şeması
Kalıntı gas monitörü
Herhangi bir sorunuz veya isteğiniz mi var? Uzmanlarımızla iletişime geçmek için bu formu kullanın.
