
HORIBA hiện đang giới thiệu ra thị trường một loạt các máy phân tích khí hồng ngoại được tối ưu hóa cho các ứng dụng khác nhau. Có tám phương pháp phân tích khác nhau sử dụng NDIR, được phân loại tương ứng theo nguyên lý hoạt động của chúng (tính đến năm 2021). Các máy phân tích khí hồng ngoại được phân thành hai loại chính dựa trên cơ chế điều biến là một phần của tính năng NDIR. Mỗi phương pháp được tóm tắt trong các bảng bên dưới (Bảng 3 và 4). Phần này mô tả các tính năng, cấu trúc và nguyên lý hoạt động của các phương pháp điển hình (phương pháp 1, 2, 4, 6 và 7).

Bảng 3: Danh sách các phương pháp phân tích khí hồng ngoại của HORIBA sử dụng NDIR (Phương pháp điều biến gián đoạn quang học)

Bảng 4: Danh sách các phương pháp phân tích khí hồng ngoại của HORIBA sử dụng NDIR (Phương pháp điều biến chéo)
Hình 11: Cấu trúc và nguyên lý hoạt động của máy phân tích chùm tia kép (có micrô tụ điện)
Đây là phương pháp được mô tả trong các máy phân tích khí hồng ngoại trước đây (Cấu trúc và nguyên lý hoạt động của máy phân tích khí hồng ngoại).
Nó có tính năng phản hồi nhanh và độ nhạy cao.
Thứ tự độ nhạy của các phương pháp sử dụng nguồn sáng hồng ngoại kép thường như sau;
Hình 12: Cấu trúc và nguyên lý hoạt động của máy phân tích chùm tia kép (cảm biến lưu lượng)
Đặc điểm
Sự kết hợp giữa bộ phận thu ánh sáng và cảm biến lưu lượng giúp giảm thiểu tác động bên ngoài (đặc biệt là rung động), độ nhạy cao và thu nhỏ kích thước cho máy phân tích hồng ngoại.
Cấu trúc và nguyên lý hoạt động
Mỗi bức xạ hồng ngoại được hấp thụ bởi một cell mẫu và một cell tham chiếu được thu thập luân phiên trong bộ thu thập ánh sáng bằng một chopper của tấm bán nguyệt quay, và thu thập bức xạ hồng ngoại được truyền qua một bộ lọc quang học để đi vào máy dò chính cho thành phần được đo. Sự hấp thụ hồng ngoại xảy ra ở các buồng trước và sau bên trong máy dò tương ứng với mỗi lượng bức xạ hồng ngoại đi vào, và điều này làm tăng nhiệt độ của mỗi buồng.
Đồng thời, dòng khí khép kín do chênh lệch nhiệt độ giữa hai buồng được tạo ra và đi qua cảm biến lưu lượng. Vì lưu lượng được cảm biến lưu lượng đo được tỷ lệ thuận với nồng độ khí nên được gửi đến bộ xử lý tín hiệu dưới dạng tín hiệu phát hiện nồng độ khí.
Hướng của khí đi qua cảm biến lưu lượng chuyển đổi đồng bộ với chuyển động của chopper. Các hoạt động cụ thể trong máy dò cho thành phần được đo như sau.
Bức xạ hồng ngoại từ cell so sánh đi vào -> khí kín từ buồng trước chảy vào buồng sau -> chopper quay -> bức xạ hồng ngoại từ cell mẫu đi vào -> khí kín từ buồng sau chảy vào buồng trước -> chopper quay -> bức xạ hồng ngoại từ cell so sánh đi vào -> lặp lại .......
Trình tự hoạt động này tương ứng với chuyển động của màng chắn micrô tụ điện. Micrô tụ điện đo chênh lệch áp suất, trong khi cảm biến lưu lượng đo lưu lượng. Ngoài ra, nguyên lý hoạt động của bộ dò bù cho thành phần gây nhiễu cũng giống như nguyên lý hoạt động của bộ dò chính cho thành phần được đo.
Hình 13: Cấu trúc và nguyên lý hoạt động của máy phân tích chùm tia đơn (có cảm biến nhiệt điện)
Đặc điểm
Máy dò bức xạ hồng ngoại sử dụng cảm biến nhiệt điện không yêu cầu khí kín như máy dò khí nén. Do đó, thu nhỏ là lợi thế lớn nhất, nhưng độ nhạy thấp hơn so với máy dò khí nén.
Cấu trúc và nguyên lý hoạt động
Phương pháp này sử dụng các cảm biến nhiệt điện của máy dò đối với bức xạ hồng ngoại được hấp thụ bởi khí mẫu với một chopper như cơ chế điều biến. Để phát hiện từng thành phần được đo trong khí mẫu dưới dạng thay đổi nhiệt độ, một bộ lọc quang học và một cảm biến nhiệt điện được sử dụng cho từng thành phần được đo. Các cảm biến nhiệt điện phát hiện những thay đổi trong khả năng hấp thụ hồng ngoại của từng thành phần được đo và nồng độ của từng thành phần được đo được tính toán dựa trên các tín hiệu phát hiện và so sánh.

Hình 14-1: Cấu trúc của máy phân tích phương pháp điều biến chéo (với chùm tia kép)
Đặc điểm
Phương pháp điều biến chất lỏng còn được gọi là phương pháp điều biến chéo. Phương pháp này có độ trôi rất nhỏ và cung cấp tín hiệu đầu ra ổn định trong thời gian dài. Hơn nữa, phương pháp này thu được màng chắn micrô tụ điện của cảm biến phát hiện di chuyển sang trái và phải, tăng gấp đôi lượng tín hiệu được phát hiện so với sử dụng chopper, do đó cải thiện khả năng chống nhiễu.
Một đặc điểm nữa là phương pháp này không yêu cầu điều chỉnh vị trí mà chopper cần để bảo dưỡng máy phân tích. Tuy nhiên, khí tham chiếu phải chảy liên tục vì không sử dụng khí kín trong buồng khí. Hệ thống van điện từ cũng cần thiết để khí mẫu và khí tham chiếu lần lượt chảy vào buồng khí.
Cấu trúc và nguyên lý hoạt động (Hình 14-1 và 14-2)
Không giống như điều biến thông thường sử dụng chopper, phương pháp này sử dụng một bộ van điện từ để chuyển đổi theo các khoảng thời gian đều đặn để khí mẫu và khí tham chiếu lần lượt vào cùng một bình khí, do đó bộ van điện từ thực hiện cơ chế điều biến. Một ví dụ về cấu trúc máy phân tích cho phương pháp này được thể hiện trong Hình 14-1.
Trong khi điều biến bằng chopper làm thay đổi lượng nguồn sáng hồng ngoại cung cấp cho mẫu và các cell tham chiếu, phương pháp điều biến chéo làm thay đổi luồng khí chảy vào mẫu và các cell tham chiếu. Ngoại trừ cơ chế điều biến, chức năng phát hiện thành phần được đo và chức năng bù cho thành phần gây nhiễu, cần thiết để phát hiện nồng độ thành phần được đo, giống như tính năng của máy phân tích khí hồng ngoại đã mô tả cho đến nay, do đó phần này tập trung vào hoạt động của cơ chế điều biến (Hình 14-2).

Hình 14-2: Nguyên lý hoạt động điều biến của phương pháp điều biến chéo
Bộ van điện từ cho phép khí mẫu chảy vào bình khí bên trái và khí tham chiếu chảy vào bình khí bên phải cùng lúc. Nếu có thành phần khí được đo trong khí mẫu, màng chắn của micrô tụ điện sẽ mở rộng về phía bên trái (hướng về bình mẫu) (Hình 14-2, hình bên trái).
Tiếp theo, bộ van điện từ được chuyển đổi và khí mẫu chảy vào bình khí bên phải và khí tham chiếu chảy vào bình khí bên trái cùng lúc.
Nếu có thành phần khí được đo trong mẫu khí, màng chắn của micrô tụ điện sẽ mở rộng về phía bên phải (hướng về phía ô mẫu) (Hình 14-2, hình bên phải).
Hoạt động này được lặp lại theo chu kỳ đều đặn để điều biến tín hiệu phát hiện của micrô tụ điện. Bằng cách xoay màng chắn của micrô tụ điện trong máy dò sang bên trái và bên phải, phương pháp này thu được lượng tín hiệu phát hiện gấp đôi so với sử dụng chopper, do đó cải thiện khả năng chống nhiễu. Ngoài ra, cơ chế cho mẫu và khí tham chiếu chảy qua từng cell khí để đo tạo ra kết quả đo ổn định theo thời gian bằng cách giảm ảnh hưởng của sự suy giảm nguồn sáng hồng ngoại và sự nhiễm bẩn của các cell khí để phát hiện tín hiệu.
Hình 15: Cấu trúc và nguyên lý hoạt động của máy phân tích điều biến chéo (chùm đơn)
Phương pháp điều biến chéo (chùm đơn) thực hiện thao tác của phương pháp điều biến chéo (chùm kép) trong một cell khí. Việc chuyển mạch tuần hoàn của bộ van điện từ khiến một cell khí chuyển sang các chức năng cell mẫu và cell tham chiếu, và nồng độ của thành phần cần đo được đo bằng hai tín hiệu phát hiện được bởi các chức năng cell này.
Trong phương pháp này, micro tụ điện chỉ được kết nối với một buồng, do đó màng không lắc từ bên này sang bên kia và chỉ di chuyển theo một hướng. Khi công tắc được bật, màng trở về trạng thái phẳng. Nếu không, nó có cùng đặc điểm như phương pháp điều biến chéo (chùm kép).
Máy phân tích hấp thụ hồng ngoại không phân tán (NDIR) được sử dụng trong nhiều lĩnh vực vì chúng có thể liên tục đo nhiều nồng độ thành phần được đo. Ví dụ, nó được sử dụng để theo dõi khí thải, khí quy trình và điều kiện khí quyển, và để đo và kiểm soát khí của các quy trình trong sản xuất chất bán dẫn.
Ngoài việc đo khí, máy phân tích NDIR còn được sử dụng để phân tích nước và chất lỏng, đo liên tục và phân tích nguyên tố của vật liệu rắn.
Nội dung
Nhấp vào đây để biết danh sách giải thích về nguyên lý đo của máy phân tích khí liên tục >
Bạn có thắc mắc hoặc yêu cầu nào không? Hãy sử dụng mẫu này để liên hệ với các chuyên gia của chúng tôi.



