Kiểm tra ô nhiễm phân tử trong không khí trong phòng sạch của ngành công nghiệp điện tử
| Model | Máy phân tích: APNA-370 Bộ chuyển đổi: CU-2 |
| Nguyên lý | Chất xúc tác oxy hóa + Phát quang hóa học |
| Dải đo | 0-(0,1/0,2/0,5)/1 ppm hoặc 0-1/2/5/10 ppm |
| Độ nhạy phát hiện tối thiểu | 5 ppb |
| Độ lặp | ±2,0% của F.S. |
| Tuyến tính | ±2,0% của F.S. |
| Độ trôi điểm “0” | ±2,0% của F.S./ngày |
| Khoảng cách trôi | ±2,0% của F.S./ngày |
| Lưu lượng khí mẫu | Xấp xỉ 3.0L/phút |
| Chỉ thị | Giá trị đo, cảnh báo |
| Cảnh báo | APNA-370: Lỗi hiệu chuẩn, Lỗi pin, Lỗi Lưu lượng dòng, Lỗi áp suất, Lỗi nhiệt độ bộ chuyển đổi, Mất điện CU-2: Lỗi nhiệt độ chất xúc tác |
| Đầu vào/đầu ra | 0-1V, (2 dòng từ giá trị tức thời và giá trị tích hợp hoặc giá trị trung bình) Tiếp điểm đầu vào/đầu ra (phạm vi, chế độ, thiết lập lại bên ngoài, lỗi máy đo từ xa, báo động, v.v.) RS-232C (tùy chọn) |
| Nguồn điện | 100/110/115/120/220/230/240VAC, 50/60Hz APNA-370: khoảng 200VA CU-2: khoảng 200VA |
| Kích thước | APNA-370: 430(R) x 550(S) x 221(C) mm CU-2: 430(R)x450(S)x310(C)mm |
| Trọng lượng | APNA-370: khoảng 21kg CU-2: khoảng 20kg |
![APNA-370/CU-2 [Model có độ nhạy cao]](https://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/_processed_/7/4/csm_5_APNA-370_CU-2__NH3___high_sensitivity__ppb__165ceebe75.png)
