Kiểm tra ô nhiễm phân tử trong không khí trong phòng sạch của ngành công nghiệp điện tử

Trong các ngành công nghiệp điện tử như bán dẫn, màn hình phẳng và thiết bị truyền thông, AMC* có thể làm giảm hiệu suất và gây suy giảm chất lượng cho thiết bị và sản phẩm trong phòng sạch.

*AMC: Ô nhiễm phân tử trong không khí

Bạn có gặp phải vấn đề như thế này không?

Phân tích thủ công tốn kém, mất thời gian và kỹ năng
Muốn biết thời điểm thích hợp để thay bộ bộ lọc hóa chất
Hiện tượng ăn mòn khuôn của các thiết bị điện tử
Thiết bị sản xuất bị mờ gương kính
Sự suy giảm điện áp đột ngột của màng oxy hóa
Lỗi khắc
Sự gia tăng bất thường của màng mỏng

Hệ thống giám sát AMC của HORIBA mô tả trực quan hóa tình trạng ô nhiễm và giảm chi phí quản lý

Hệ thống kiểm tra AMC của HORIBA hỗ trợ kiểm tra xu hướng nồng độ ô nhiễm và bảo trì bộ lọc hóa chất thông qua phép đo tự động cũng như bổ sung cho phép đo thông thường dựa trên phân tích thủ công, do đó góp phần giải quyết các vấn đề của khách hàng. Thông qua phép đo kết hợp về không khí ngoài trời, chúng tôi có thể cung cấp các giải pháp đo lường toàn diện hơn với hệ thống này.

Đặc điểm

Đo tự động và liên tục ổn định
Dự đoán nguyên nhân gây ra lỗi trong sản phẩm/thiết bị ngoại vi và thời điểm thay thế bộ lọc hóa học bằng cách theo dõi xu hướng
Vận hành dễ dàng
Không yêu cầu kỹ năng đặc biệt. Giảm chi phí quản lý, thời gian và chi phí lao động
Xây dựng hệ thống theo yêu cầu
Đo đa điểm với bộ chọn đường và loại xe đẩy cầm tay (tùy chọn). Hỗ trợ không chỉ đo trong phòng sạch mà còn đo không khí bên ngoài.

Nghiên cứu

Đo ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) bên trong phòng sạch hoặc trong không khí thông gió
Đo tập trung tại một điểm như vùng ngoại vi của một số thiết bị nhất định
Phát hiện các sự cố cụ thể, chẳng hạn như nồng độ oxit nitơ tăng cao do lưu lượng chuyển động tăng (bầu không khí ngoài trời).