Kiểm tra ô nhiễm phân tử amoniac trong không khí trong sản xuất chất bán dẫn

- Kiểm tra NH₃-

Các chất gây ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) gây ra các vấn đề về chất lượng sản phẩm trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại, ngay cả ở nồng độ ppb cực thấp. AMC lần đầu tiên trở thành một vấn đề với sự ra đời của điện trở khuếch đại hóa học vào những năm 1990. Một khiếm khuyết xảy ra khi các axit khởi tạo quang phân trong điện trở được trung hòa bởi amoniac trong không khí (NH₃) từ phòng sạch. Tương tác này là lỗi thiết bị có liên quan vì nó làm giảm chất lượng chiều rộng và cấu trúc đường dây. Do đó, việc đo ô nhiễm phân tử amoniac trong không khí trong phòng sạch đã trở nên phổ biến và sắc ký ion đã được sử dụng trong một thời gian dài.

Nhiễm bẩn amoniac trong phòng sạch có thể đến từ nhiều nguồn khác nhau, đôi khi là không mong muốn: khí nạp từ bên ngoài, bốc hơi do lỗi nhân viên hoặc rò rỉ từ thiết bị. Thỉnh thoảng có những sự cố ngẫu nhiên dẫn đến nồng độ amoniac tăng lên và gây ra hiện tượng mờ trên bề mặt quang học của lưới ngắm và gương. Tuy nhiên, việc xác định và loại bỏ nhanh chóng nguồn nhiễm bẩn amoniac trước khi ảnh hưởng đến năng suất sản xuất là một vấn đề, vì nó có thể đến từ bất kỳ đâu.

Phân tích thủ công AMC không cung cấp độ phân giải không gian cao và có thể làm chậm việc phát hiện ô nhiễm, dẫn đến ô nhiễm lan rộng khắp phòng sạch và làm giảm năng suất.

Để giảm thiểu tổn thất năng suất do ô nhiễm phân tử amoniac trong không khí, việc thu thập dữ liệu phân tích có độ phân giải không gian cao để xác định nhanh nguồn ô nhiễm và có biện pháp đối phó ngay lập tức là rất quan trọng.

Ý kiến của Quản lý phòng chất lượng cơ sở phòng sạch

Cần tăng độ phân giải không gian của phân tích nhưng nếu tăng cường việc lấy mẫu và phân tích thủ công sẽ tốn kém và có khoảng cách thời gian lớn
Yêu cầu đối với thiết kế hệ thống phân tích khác nhau tùy theo từng nhà máy

Giải pháp từ HORIBA

Các tính năng của máy đo NH₃

Bộ chọn dòng với nhiều điểm lấy mẫu cho độ phân giải không gian cao
Tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng cho 4, 8, 16 điểm lấy mẫu trở lên.
Phạm vi đo: tối đa 0-1000 ppb, tối thiểu 0-100 ppb, LDL 1 ppb.

Hiệu quả về thời gian và chi phí
Đo tự động, không yêu cầu kỹ năng đặc biệt.
Giúp giảm chi phí quản lý, thời gian và chi phí nhân công.

Có thể vận chuyển
Hệ thống di động trên xe đẩy cho phép sử dụng một hệ thống ở nhiều phòng sạch khác nhau trong tòa nhà.
Cho phép lấy dữ liệu máy đo AMC từ nhiều cơ sở khác nhau của nhà máy: kho, phòng sạch, v.v.

Giải pháp của HORIBA cho phòng sạch bán dẫn

Trong phòng sạch, nơi phân tích AMC được thực hiện thủ công, việc chỉ lấy mẫu tại điểm [5] của Hình 1 có thể gây ra sự chậm trễ trong việc phát hiện ô nhiễm và sự lan truyền của AMC qua toàn bộ phòng sạch. Hệ thống đo đa điểm HORIBA bao gồm Bộ chọn đường và Hệ thống đo AMC với nhiều điểm lấy mẫu [1] [2] [3] [4] [5] tại Hình 1 cho phép tăng độ phân giải không gian của phân tích, dẫn đến phát hiện sớm nguồn AMC và các biện pháp đối phó nhanh chóng. Hệ thống giám sát AMC đa điểm như vậy có thể góp phần cải thiện năng suất sản xuất, chất lượng thiết bị và độ tin cậy.

Giám sát AMC đa điểm