气体压力

UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器

通过气液混合气化方式实现液体材料的高效率气化

它最适于各种工艺的生产线压力测量

通过输入压力控制设定信号，可以远程控制生产线压力

内置有高性能压力传感器和压电阀

最适于超清洁类型的工艺生产线

它内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成，此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。