液体源汽化系统

HORIBA的液体源汽化系统包括三种不同类型的汽化方式:直接注入式、混合注入式、直接加热式。我们的产品严格遵守半导体市场不断更新的要求。我们利用独一无二的尖端监测/汽化原理制作产品,比如压差监测法或HORIBA更早前开发的应用于液体流量计的冷却法,以及螺旋式的混合注入系统。我们多种不同的汽化系统以及流量控制器可提供您多种不同的选择方式。

HORIBA还拥有高精度、高速数字流量响应的液体流量控制器和液体流量计。

HORIBA对于以下几种液体材料有着丰富的经验

Liquid Materials HORIBA has experiences
Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA

如有询问以上并未列出的蒸发液体材料,欢迎联系我们

 

 

混合注入式

高性能载气式液体汽化器 MV-2000 Series

MV-2000系列实现高效的汽化,即使在低温情况下也可通过螺旋式加热达到汽化效果。此种汽化方式适用于半导体制造工艺,诸如“High-k”——一种易热解的液体源

加热系统

加热系统 LSC系列

适用于相关范围的液体源的稳定加热系统

直接注入式(非载气型)

Direct Injection System VC Series

由于是无载体类型,所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量,所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

直接注入式(载气型)

液体自动注入系统

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高安全性。

液体自动填充系统 LU系列

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全,高效,保证液体源供应不间断。

液体流量控制器

高响应速度数字式液体流量计 XF-100 Series

XF系列是一款数字式液体流量计,通过压差检测方式实现高速响应:100msec(或当与压电陶瓷发组合使用时,少于0.8sec)。

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器